用于汽车应用的中压力传感器的裸片接合设计

    公开(公告)号:CN103728064A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201310607743.0

    申请日:2013-10-16

    发明人: 王仲平

    IPC分类号: G01L1/18 G01L9/06

    摘要: 本发明涉及用于汽车应用的中压力传感器的裸片接合设计。通过将MEMS传感器附接到用低CTE填充剂填充的塑料,该填充剂降低塑料的热膨胀系数(CTE)以更接近硅的热膨胀系数,来减小在硅微机电压力转换器(MEMS传感器)上的热引发的应力。使用环氧树脂粘合剂/硅石填充剂混合物将MEMS传感器附接到壳体,当固化时,为匹配壳体的CTE该环氧树脂粘合剂/硅石填充剂混合物具有在大约十PPM/°C到大约三十PPM/°C之间的CTE。该粘合剂也具有在操作温度范围之上的玻璃转变温度(Tg)。该设计提供好的传感器密封和稳定的传感器输出。

    最小化热噪声的半导体传感器件

    公开(公告)号:CN103226047A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201310035555.5

    申请日:2013-01-30

    发明人: J-H.A.仇 S-H.S.陈

    IPC分类号: G01L1/18 G01L19/04

    摘要: 本发明涉及最小化热噪声的半导体传感器件。一种MEMS压力传感器被设计来减少或消除热噪声、诸如温度偏移电压输出。该压力传感器包括具有膜片以及腔的压力传感元件,所述腔被形成为压力传感元件的部分,其中所述腔容纳流体,使得膜片至少部分地偏转。该压力传感元件还包括多个压电电阻器,所述多个压电电阻器在工作中基于膜片中的偏转量来生成信号。至少一个沟槽被整体地形成为压力传感元件的部分,并且胶粘剂把压力传感元件连接到至少一个基板,使得胶粘剂的至少部分被附着到所述沟槽,并且将压力传感元件上的热感应应力重新分配,使得热感应噪声基本上被消除。