接合装置及接合方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1703138A

    公开(公告)日:2005-11-30

    申请号:CN200510073982.8

    申请日:2005-05-27

    IPC分类号: H05K3/26 H05K3/00

    摘要: 本发明提供一种接合装置及接合方法。该接合装置具备保持电子部件的吸附管嘴、将电路基板与所述电子部件相面对地保持的基板台架、以及可以配置在定位状态的所述电子部件和所述电路基板之间的照射位置的准分子紫外线灯。在此种接合装置中,在利用所述准分子紫外线灯同时向所述电子部件的金突起及所述电路基板的基板电极照射紫外线而进行了两金属部分的清洗处理后,在使两金属部分相互接触的状态下赋予超声波振动,进行两金属部分的金属接合。