适合于DRAM存储器的存储器单元

    公开(公告)号:CN102124556A

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:CN200880121773.8

    申请日:2008-12-18

    摘要: 本发明涉及在有源半导体区(104)上具有存储器电容器(110)的存储器单元,该存储器电容器具有第一电容器电极层,在存储器单元的截面图上,第一电容器电极层具有第一和第二电极层部分,第一和第二电极层部分在有源半导体区上与有源半导体区平行地延伸,彼此相距垂直距离,并且通过垂直地(即与有源半导体区的表面垂直)延伸的第三电极层部分电连接。控制晶体管(112)与导电的第二电容器电极层相连,第二电容器电极层在第一和第二电极层部分之间延伸并且通过隔离层(116)与第一和第二电极层部分电隔离。所实现的优点包括通过存储器单元所需的小面积,获得高的产率、降低的生产成本和减小的结漏电的危险。

    半导体器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1499633A

    公开(公告)日:2004-05-26

    申请号:CN200310103002.5

    申请日:2003-10-28

    发明人: 稗田克彦

    IPC分类号: H01L27/04 H01L21/82 H01L21/00

    摘要: 通过在高频用的MIM电容器中在相同的上下电极间具有不同的电容器绝缘膜结构,同时满足了减少漏泄电流的要求和缩小电容器形成用的面积这2个要求。通过在低漏泄电流为必要的电容器中插入能抑制漏泄电流的电容器绝缘膜层,实现了低漏泄电流的MIM电容器,通过在电容器面积的缩小为必要的电容器中将高介电常数电介质膜用作电容器绝缘膜,实现了电容器面积小的MIM电容器。通过使用相同的上下电极(13)、(17)同时形成具有这二种特性的电容器,减少了工艺成本的上升。

    半导体装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104916691A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201410379832.9

    申请日:2014-08-04

    IPC分类号: H01L29/78

    摘要: 一种半导体装置,抑制成本上升,抑制误动作的产生,且可靠性高。其具备:第一电极;第二电极;第一导电型的第一半导体区域,设置于上述第一电极与上述第二电极之间;第二导电型的第二半导体区域,设置于上述第一半导体区域与上述第二电极之间;第一导电型的第三半导体区域,设置于上述第二半导体区域与上述第二电极之间,该第三半导体区域的杂质浓度高于上述第一半导体区域的杂质浓度;第三电极,经由第一绝缘膜与上述第三半导体区域、上述第二半导体区域以及上述第一半导体区域接连;以及电容元件部,具有:与上述第二电极电连接的第四电极;与上述第三电极电连接的第五电极;以及设置于上述第四电极与上述第五电极之间的第二绝缘膜。