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    Low resistance barrier layer for isolating, adhering, and passivating copper metal in semiconductor fabrication
    8.
    发明授权
    Low resistance barrier layer for isolating, adhering, and passivating copper metal in semiconductor fabrication 失效
    用于在半导体制造中隔离，粘附和钝化铜金属的低电阻阻挡层

    公开(公告)号：US06380627B1

    公开(公告)日：2002-04-30

    申请号：US09105585

    申请日：1998-06-26

    申请人： Timothy P. Weihs ,  Troy W. Barbee, Jr.

    发明人： Timothy P. Weihs ,  Troy W. Barbee, Jr.

    IPC分类号： H01L2348

    CPC分类号： H01L21/28568 ,  H01L23/53238 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： Cubic or metastable cubic refractory metal carbides act as barrier layers to isolate, adhere, and passivate copper in semiconductor fabrication. One or more barrier layers of the metal carbide are deposited in conjunction with copper metallizations to form a multilayer characterized by a cubic crystal structure with a strong (100) texture. Suitable barrier layer materials include refractory transition metal carbides such as vanadium carbide (VC), niobium carbide (NbC), tantalum carbide (TaC), chromium carbide (Cr3C2), tungsten carbide (WC), and molybdenum carbide (MoC).

    摘要翻译： 立方或亚稳态立方难熔金属碳化物作为阻挡层，以在半导体制造中分离，粘附和钝化铜。 金属碳化物的一个或多个阻挡层与铜金属化结合沉积以形成特征在于具有强（100）结构的立方晶体结构的多层。 合适的阻挡层材料包括耐火过渡金属碳化物，如碳化钒（VC），碳化铌（NbC），碳化钽（TaC），碳化铬（Cr3C2），碳化钨（WC）和碳化钼（MoC）。

    MECHANICAL PROCESSING OF REACTIVE LAMINATES
    9.
    发明申请
    MECHANICAL PROCESSING OF REACTIVE LAMINATES 有权
    反应性层压板的机械加工

    公开(公告)号：US20120231159A1

    公开(公告)日：2012-09-13

    申请号：US13503635

    申请日：2010-10-25

    申请人： Timothy P. Weihs ,  Adam Stover

    发明人： Timothy P. Weihs ,  Adam Stover

    IPC分类号： B22F9/02 ,  C01B31/30 ,  C01B33/06 ,  B32B5/16 ,  B29C47/00 ,  B22F3/02 ,  B29C43/00 ,  B05D5/00 ,  C01B35/04 ,  B22F9/16

    CPC分类号： B22F1/0003 ,  B22F1/0011 ,  B22F3/17 ,  B22F3/23 ,  B22F9/04 ,  B22F2009/043 ,  B22F2009/047 ,  B22F2998/10 ,  B23K35/26 ,  B23K35/30 ,  B23K35/34 ,  B32B15/017 ,  Y10T428/2982 ,  Y10T428/2991 ,  B22F3/04 ,  B22F3/15 ,  B22F3/08

    摘要： A method of producing a reactive powder includes providing a bulk structure of reactive material comprising a first reactant and a second reactant, the bulk structure having a preselected average spacing between the first and the second reactants; and mechanically processing the bulk structure of reactive material to produce a plurality of particles from the bulk structure such that each of the plurality of particles comprises the first and second reactants having an average spacing that is substantially equal to the preselected average spacing of the bulk structure of reactive material. The first and second materials of the plurality of particles react with each other in an exothermic reaction upon being exposed to a threshold energy to initiate the exothermic reaction and remain substantially stable without reacting with each other prior to being exposed to the threshold energy.

    摘要翻译： 制备反应性粉末的方法包括提供包含第一反应物和第二反应物的反应性材料的本体结构，所述本体结构在第一和第二反应物之间具有预选的平均间距; 以及机械处理反应性材料的本体结构以从本体结构产生多个颗粒，使得所述多个颗粒中的每个颗粒包含第一和第二反应物，其平均间隔基本上等于本体结构的预选平均间距 的反应性材料。 多个颗粒中的第一和第二材料在暴露于阈值能量以引发放热反应并且在暴露于阈值能量之前保持基本上稳定而不彼此反应的同时在放热反应中彼此反应。