Apparatus And Method For Bonding A Plurality Of Semiconductor Chips Onto A Substrate
    2.
    发明申请
    Apparatus And Method For Bonding A Plurality Of Semiconductor Chips Onto A Substrate 审中-公开
    将多个半导体芯片接合到基板上的装置和方法

    公开(公告)号:WO2015023232A1

    公开(公告)日:2015-02-19

    申请号:PCT/SG2014/000382

    申请日:2014-08-14

    Abstract: An apparatus and a method for bonding semiconductor a plurality of semiconductor chips to a substrate are provided. The apparatus comprises a frame; a plurality of bond heads coupled to the frame, each bond head being operable to obtain and release a chip; and a bond stage coupled to the frame and operable to receive a substrate; each bond head of the plurality of bond heads being relatively moveable with respect to the bond stage and operable to contact a chip obtained by the bond head with a substrate received on the bond stage and to release the chip to bond the chip to the substrate

    Abstract translation: 提供了一种用于将多个半导体芯片的半导体接合到基板的装置和方法。 该装置包括一个框架; 耦合到所述框架的多个键合头,每个键头可操作以获得和释放芯片; 以及耦合到所述框架并且可操作以接收基板的接合台; 多个结合头的每个结合头相对于接合台相对移动,并且可操作以将由接合头获得的芯片与接收在接合台上的基板接触并释放芯片以将芯片接合到基板

    フリップチップボンダ及びボンディングステージの平坦度並びに変形量補正方法
    4.
    发明申请
    フリップチップボンダ及びボンディングステージの平坦度並びに変形量補正方法 审中-公开
    卷芯粘合剂和校正平坦度和粘结层的变形量的方法

    公开(公告)号:WO2014098174A1

    公开(公告)日:2014-06-26

    申请号:PCT/JP2013/084042

    申请日:2013-12-19

    Inventor: 瀬山 耕平

    Abstract:  ベース(12)とボンディングステージ(20)と、ベース(12)に取り付けられ、ボンディングステージ(20)の下面(22)に設けられた複数の支持点をそれぞれ上下方向に支持すると共に、各支持点の上下方向位置を調整する複数の上下方向位置調整支持機構(30)と、ベース(12)とボンディングステージ(20)を接続する板ばね機構(40)と、を備え、板ばね機構(40)は、ボンディングステージ(20)の表面(21)に沿ったX軸の方向と、X軸と直交するY軸の方向とについてのベース(12)に対するボンディングステージ(20)の相対移動を拘束し、且つ、ベース(12)に対するボンディングステージ(20)のX軸周りの第一の捩りと、Y軸周りの第二の捩りと、ベース(12)に対するボンディングステージ(20)の上下方向の移動とを許容する。これにより、フリップチップボンダにおいて、ボンディング品質の向上と高速化を図る。

    Abstract translation: 本发明提供有:基座(12); 接合台(20); 多个垂直位置调整支撑机构(30),用于分别在垂直方向上支撑设置在接合台(20)的下表面(22)的多个支撑点,并且调节每个支撑件 点,垂直位置调节支撑机构(30)安装在基座(12)上; 以及用于连接基座(12)和接合台(20)的板簧机构(40)。 板簧机构(40)在与接合台(20)的表面(21)对准的X轴方向和Y轴方向上抑制接合台(20)相对于基座(12)的移动 并且允许接合台(20)围绕X轴相对于基座(12)的第一次扭转,以及接合台(20)围绕Y轴的第二次扭转, 以及接合台(20)相对于基座(12)的垂直运动。 因此,在倒装芯片接合机中可以获得接合质量的提高和速度的提高。

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