METHOD OF FABRICATING DIAMOND-SEMICONDUCTOR COMPOSITE SUBSTRATES
    2.
    发明申请
    METHOD OF FABRICATING DIAMOND-SEMICONDUCTOR COMPOSITE SUBSTRATES 审中-公开
    制备金刚石半导体复合基板的方法

    公开(公告)号:WO2016180849A1

    公开(公告)日:2016-11-17

    申请号:PCT/EP2016/060493

    申请日:2016-05-11

    申请人: RFHIC CORPORATION

    发明人: FRANCIS, Daniel

    IPC分类号: H01L21/20

    摘要: A method of fabricating a semiconductor-on-diamond composite substrate, the method comprising: (i) starting with a native semiconductor wafer comprising a native silicon carbidesubstrate on which a compound semiconductor is disposed; (ii) bonding a silicon carbide carrier substrate to the compound semiconductor; (iii) removing the native silicon carbide substrate; (iv) forming a nucleation layer over the compound semiconductor; (v) growing polycrystalline chemical vapour deposited (CVD) diamond on the nucleation layer to form a composite diamond-compound semiconductor-silicon carbide wafer, and (vi) removing the silicon carbide carrier substrate y laser lift-off to achieve a layered structure comprising the compound semiconductor bonded to the polycrystalline CVD diamond via the nucleation layer, wherein in step (ii) the silicon carbide carrier substrate is bonded to the compound semiconductor via a laser absorption material which absorbs laser light, wherein the laser has a coherence length shorter than a thickness of the silicon carbide carrier substrate.

    摘要翻译: 一种制造金刚石半导体复合衬底的方法,所述方法包括:(i)从其上配置有化合物半导体的天然硅碳化硅衬底的天然半导体晶片开始; (ii)将碳化硅载体衬底结合到化合物半导体; (iii)去除天然碳化硅衬底; (iv)在化合物半导体上形成成核层; (v)在成核层上生长多晶化学气相沉积(CVD)金刚石以形成复合金刚石 - 化合物半导体 - 碳化硅晶片,和(vi)去除碳化硅载体衬底y激光剥离以实现分层结构,包括 通过成核层与多晶CVD金刚石结合的化合物半导体,其中在步骤(ii)中,碳化硅载体衬底通过吸收激光的激光吸收材料与化合物半导体结合,其中激光的相干长度短于 碳化硅载体基板的厚度。

    パワーモジュール
    3.
    发明申请
    パワーモジュール 审中-公开
    电源模块

    公开(公告)号:WO2016136457A1

    公开(公告)日:2016-09-01

    申请号:PCT/JP2016/053779

    申请日:2016-02-09

    IPC分类号: H01L21/60 H01L25/07 H01L25/18

    摘要:  外部端子部品と接続する接続材がアルミ製であっても高温動作が可能で、信頼性が向上するパワーモジュールを得ることを目的とする。 本発明のパワーモジュール(100)は、回路基板(基板(2))に搭載されたパワー半導体素子(1)と、素子1の表面主電極(電極(14e))に接続されたアダプタ(10)を備え、アダプタ(10)は、素子(1)の表面主電極(電極(14e))に接続された主電極配線部材(31)を備え、主電極配線部材(31)は、素子(1)の表面主電極(電極(14e))に接続された素子接続部(311)と、素子接続部(311)の外側に配置されると共に回路基板(基板(2))に接続された基板接続部(312)と、素子接続部(311)の外側に配置されると共に外部電極に接続材(ワイヤ(7))を介して接続する接続材接続部(ワイヤ接続部(313))を備える。

    摘要翻译: 本发明的目的是实现即使要连接到外部端子部件的连接材料由铝形成并且具有提高的可靠性,也能够在高温下工作的功率模块。 根据本发明的功率模块(100)具有:安装在电路板(基板(2))上的功率半导体元件(1); 以及连接到元件(1)的表面主电极(电极(14e))的适配器(10)。 适配器(10)设置有与元件(1)的表面主电极(14e)连接的主电极配线部件(31)。 主电极配线构件(31)具有与元件(1)的表面主电极(14e)连接的元件连接部(311)。 在连接到电路板(基板)的同时,配置在元件连接部311的外侧的基板连接部312)。 以及连接材料连接部(电线连接部,313),其经由连接材料(线(7))与外部电极连接而配置在元件连接部(311)的外侧。