公开(公告)号：US09567671B2

公开(公告)日：2017-02-14

申请号：US14237577

申请日：2012-07-30

申请人： Raymond Jacobus Wilhelmus Knaapen ,  Ruud Olieslagers ,  Dennis Van Den Berg ,  Matijs C. Van Den Boer ,  Diederik Jan Maas ,  Jacques Cor Johan Van Der Donck ,  Freddy Roozeboom

发明人： Raymond Jacobus Wilhelmus Knaapen ,  Ruud Olieslagers ,  Dennis Van Den Berg ,  Matijs C. Van Den Boer ,  Diederik Jan Maas ,  Jacques Cor Johan Van Der Donck ,  Freddy Roozeboom

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/54

CPC分类号： C23C16/45589 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/4588 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545

摘要： Method of depositing an atomic layer on a substrate. The method comprises supplying a precursor gas from a precursor-gas supply of a deposition head that may be part of a rotatable drum. The precursor gas is provided from the precursor-gas supply towards the substrate. The method further comprises moving the precursor-gas supply by rotating the deposition head along the substrate which in its turn is moved along the rotating drum. The method further comprises switching between supplying the precursor gas from the precursor-gas supply towards the substrate over a first part of the rotation trajectory; and interrupting supplying the precursor gas from the precursor-gas supply over a second part of the rotation trajectory.

摘要翻译： 在基板上沉积原子层的方法。 该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应源供应前体气体。 前体气体从前体气体供应源朝向基底提供。 该方法还包括通过沿着衬底旋转沉积头来移动前体气体源，衬底又沿旋转鼓移动。 该方法还包括在旋转轨迹的第一部分上将来自前体气体供应的前体气体供给朝向基底的切换; 并且中断在旋转轨迹的第二部分上从前体气体供应源提供前体气体。

公开(公告)号：US20150086715A1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：US14237577

申请日：2012-07-30

申请人： Raymond Jacobus Wilhelmus Knaapen ,  Ruud Olieslagers ,  Dennis Van Den Berg ,  Matijs C. Van Den Boer ,  Diederik Jan Maas ,  Jacques Cor Johan Van Der Donck ,  Freddy Roozeboom

发明人： Raymond Jacobus Wilhelmus Knaapen ,  Ruud Olieslagers ,  Dennis Van Den Berg ,  Matijs C. Van Den Boer ,  Diederik Jan Maas ,  Jacques Cor Johan Van Der Donck ,  Freddy Roozeboom

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/52

CPC分类号： C23C16/45589 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/4409 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45536 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/4586 ,  C23C16/4588 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545

摘要： Method of depositing an atomic layer on a substrate. The method comprises supplying a precursor gas from a precursor-gas supply of a deposition head that may be part of a rotatable drum. The precursor gas is provided from the precursor-gas supply towards the substrate. The method further comprises moving the precursor-gas supply by rotating the deposition head along the substrate which in its turn is moved along the rotating drum. The method further comprises switching between supplying the precursor gas from the precursor-gas supply towards the substrate over a first part of the rotation trajectory; and interrupting supplying the precursor gas from the precursor-gas supply over a second part of the rotation trajectory

摘要翻译： 在基板上沉积原子层的方法。 该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应源供应前体气体。 前体气体从前体气体供应源朝向基底提供。 该方法还包括通过沿着衬底旋转沉积头来移动前体气体源，衬底又沿旋转鼓移动。 该方法还包括在旋转轨迹的第一部分上将来自前体气体供应的前体气体供给朝向基底的切换; 并且中断在旋转轨迹的第二部分上从前体气体供应源提供前体气体

公开(公告)号：US09297077B2

公开(公告)日：2016-03-29

申请号：US13577922

申请日：2011-02-11

申请人： Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer ,  Freddy Roozeboom ,  Joop Van Deelen

发明人： Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer ,  Freddy Roozeboom ,  Joop Van Deelen

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/54 ,  H01L21/677

CPC分类号： C23C16/45544 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67784

摘要： Method of depositing an atomic layer on a substrate. The method comprises supplying a precursor gas from a precursor-gas supply of a deposition head that may be part of a rotatable drum. The precursor gas is provided from the precursor-gas supply towards the substrate. The method further comprises moving the precursor-gas supply by rotating the deposition head along the substrate which in its turn is moved along the rotating drum.

摘要翻译： 在基板上沉积原子层的方法。 该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应源供应前体气体。 前体气体从前体气体供应源朝向基底提供。 该方法还包括通过沿着衬底旋转沉积头来移动前体气体源，衬底又沿旋转鼓移动。

公开(公告)号：US20130064977A1

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：US13577922

申请日：2011-02-11

申请人： Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer ,  Freddy Roozeboom ,  Joop Van Deelen

发明人： Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer ,  Freddy Roozeboom ,  Joop Van Deelen

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/458

CPC分类号： C23C16/45544 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45589 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L21/67784

摘要： Method of depositing an atomic layer on a substrate. The method comprises supplying a precursor gas from a precursor-gas supply of a deposition head that may be part of a rotatable drum. The precursor gas is provided from the precursor-gas supply towards the substrate. The method further comprises moving the precursor-gas supply by rotating the deposition head along the substrate which in its turn is moved along the rotating drum.

摘要翻译： 在基板上沉积原子层的方法。 该方法包括从可以是可旋转滚筒的一部分的沉积头的前体气体供应源供应前体气体。 前体气体从前体气体供应源朝向基底提供。 该方法还包括通过沿着衬底旋转沉积头来移动前体气体源，衬底又沿旋转鼓移动。

公开(公告)号：US20100003827A1

公开(公告)日：2010-01-07

申请号：US12373394

申请日：2007-07-12

申请人： Wilhelmus Mathijs Marie Kessels ,  Mauritius Cornelis Van De Sanden ,  Michiel Alexander Blauw ,  Freddy Roozeboom

发明人： Wilhelmus Mathijs Marie Kessels ,  Mauritius Cornelis Van De Sanden ,  Michiel Alexander Blauw ,  Freddy Roozeboom

IPC分类号： H01L21/3065 ,  B44C1/22

CPC分类号： H01J37/32357 ,  C23C16/402 ,  C23C16/513 ,  H01J37/32055 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/3343 ,  H01L21/30655

摘要： In a method and device for etching a substrate by a plasma, the plasma is generated and accelerated at substantially sub-atmospheric pressure between a cathode and an anode of a plasma source (1) in a channel of system of at least one conductive cascaded plate between the cathode and anode. The plasma is released from the plasma source to a treatment chamber (2) in which the substrate (9) is exposed to the plasma. The treatment chamber is sustained at a reduced, near vacuum pressure during operation. An alternating bias voltage is applied between the substrate and the plasma during the exposure

摘要翻译： 在用于通过等离子体蚀刻衬底的方法和装置中，在至少一个导电级联板的系统的通道中的等离子体源（1）的阴极和阳极之间的基本上亚大气压下产生等离子体并加速 在阴极和阳极之间。 等离子体从等离子体源释放到其中衬底（9）暴露于等离子体的处理室（2）中。 处理室在操作期间维持在减小的接近真空压力。 在曝光期间，在衬底和等离子体之间施加交替的偏置电压

公开(公告)号：US20080148555A1

公开(公告)日：2008-06-26

申请号：US11816759

申请日：2006-02-17

申请人： Freddy Roozeboom ,  Peter Notten

发明人： Freddy Roozeboom ,  Peter Notten

IPC分类号： H01M6/00

CPC分类号： H01M6/40 ,  H01M2/10 ,  H01M2/1022 ,  H01M4/60 ,  H01M10/052 ,  H01M10/0562 ,  Y10T29/49108

摘要： The invention relates to a method of manufacturing an electrochemical energy source comprising the steps of providing a first electrode that is at least partially formed by a conducting substrate, depositing a lithium ion solid-state electrolyte on the substrate; and depositing a second electrode on the substrate. The lithium ion solid-state electrolyte layer is obtained from a dual metal lithium alkoxide precursor Further an electrochemical energy source is disclosed as well as an electronic device provided with such an electrochemical energy source.

摘要翻译： 本发明涉及一种制造电化学能源的方法，包括以下步骤：提供至少部分地由导电衬底形成的第一电极，在衬底上沉积锂离子固态电解质; 以及在所述衬底上沉积第二电极。 锂离子固态电解质层由双金属锂醇盐前体获得。此外，还公开了电化学能源以及具有这种电化学能源的电子器件。

公开(公告)号：US20080095491A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US10588836

申请日：2005-02-11

申请人： Johan Hendrik Klootwijk ,  Freddy Roozeboom

发明人： Johan Hendrik Klootwijk ,  Freddy Roozeboom

IPC分类号： G02B6/12

CPC分类号： G02B6/43 ,  B82Y20/00 ,  G02B6/1225 ,  H01L31/153

摘要： A monolithically integrated optical network device (20). The device comprises: a bipolar transistor (10) realized in a silicon substrate (11) that can be biased into an avalanche condition to emit photons; and a photonic bandgap (PBG) structure (22) monolithically integrated with the bipolar transistor (10) to act as an optical wave guide (16) for the photons generated by the bipolar transistor (10).

摘要翻译： 单片集成光网络装置（20）。 该器件包括：在硅衬底（11）中实现的双极晶体管（10），其可被偏置到雪崩状态以发射光子; 以及与双极晶体管（10）单片集成的光子带隙（PBG）结构（22），用作由双极晶体管（10）产生的光子的光波导（16）。

公开(公告)号：US09530857B2

公开(公告)日：2016-12-27

申请号：US10560717

申请日：2004-06-11

申请人： Freddy Roozeboom ,  Adrianus Alphonsus Jozef Buijsman ,  Patrice Gamand ,  Antonius Lucien Adrianus Maria Kemmeren ,  Gerardus Tarcisius Maria Hubert

发明人： Freddy Roozeboom ,  Adrianus Alphonsus Jozef Buijsman ,  Patrice Gamand ,  Antonius Lucien Adrianus Maria Kemmeren ,  Gerardus Tarcisius Maria Hubert

IPC分类号： H01L23/12 ,  H01L23/053 ,  H01L29/66 ,  H01L21/768 ,  H01L23/48 ,  H01L27/08 ,  H01L29/06

CPC分类号： H01L23/66 ,  H01L21/486 ,  H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/49872 ,  H01L24/16 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/18 ,  H01L27/0805 ,  H01L28/60 ,  H01L29/0657 ,  H01L29/66181 ,  H01L2223/6622 ,  H01L2223/6666 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05009 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16265 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/06548 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1205 ,  H01L2924/1431 ,  H01L2924/1434 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05147

摘要： A semiconductor substrate comprises both vertical interconnects and vertical capacitors with a common dielectric layer. The substrate can be suitably combined with further devices to form an assembly. The substrate can be made in etching treatments including a first step on the one side, and then a second step on the other side of the substrate.

摘要翻译： 半导体衬底包括垂直互连和具有公共电介质层的垂直电容器。 衬底可以适当地与另外的装置组合以形成组件。 衬底可以在包括一侧的第一步骤，然后在衬底的另一侧上的第二步骤的蚀刻处理中制成。

公开(公告)号：US09184469B2

公开(公告)日：2015-11-10

申请号：US13287916

申请日：2011-11-02

申请人： Friso Jacobus Jedema ,  Willem Frederik Adrianus Besling ,  Freddy Roozeboom ,  René Wilhelmus Johannes Maria van den Boomen ,  Freek Egbert van Straten

发明人： Friso Jacobus Jedema ,  Willem Frederik Adrianus Besling ,  Freddy Roozeboom ,  René Wilhelmus Johannes Maria van den Boomen ,  Freek Egbert van Straten

IPC分类号： H01M2/10 ,  H01M2/20 ,  H01M2/22 ,  H01M2/24 ,  H01M10/0583 ,  H01M10/04 ,  H01M10/052 ,  A61B5/00 ,  A61B5/01 ,  A61B5/145

CPC分类号： H01M10/0583 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/01 ,  A61B5/14539 ,  A61B5/14542 ,  A61B5/14546 ,  A61B2560/0214 ,  H01M2/204 ,  H01M10/0436 ,  H01M10/052 ,  Y02E60/122 ,  Y10T29/49107 ,  Y10T29/49108

摘要： A battery comprises a carrier foil, with solid state battery elements spaced along the foil and mounted on opposite sides of the foil in pairs, with the battery elements of a pair mounted at the same position along the foil. The carrier foil is folded to define a meander pattern with battery element pairs that are adjacent each other along the foil arranged back to back.

摘要翻译： 电池包括载体箔，其中固态电池元件沿着箔间隔开并且成对地安装在箔的相对侧上，一对电池元件沿着箔安装在相同位置。 载体箔被折叠以限定具有电池元件对的曲折图案，所述电池元件对沿着背靠背布置的箔彼此相邻。

公开(公告)号：US08395914B2

公开(公告)日：2013-03-12

申请号：US12597308

申请日：2008-05-08

申请人： Johan H. Klootwijk ,  Hendrik J. Bergveld ,  Freddy Roozeboom ,  Derk Reefman ,  Jaap Ruigrok

发明人： Johan H. Klootwijk ,  Hendrik J. Bergveld ,  Freddy Roozeboom ,  Derk Reefman ,  Jaap Ruigrok

IPC分类号： H02M3/07

CPC分类号： H01L27/0805 ,  H02M3/07

摘要： The present invention relates to a configurable trench multi-capacitor device comprising a trench in a semiconductor substrate. The trench has a lateral extension exceeding 10 micrometer and a trench filling includes a number of at least four electrically conductive capacitor-electrode layers. A switching unit is provided that comprises a plurality of switching elements electrically interconnected between different capacitor-electrode layers of the trench filling. A control unit is connected with the switching unit and configured to generate and provide to the switching unit respective control signals for forming a respective one of a plurality of multi-capacitor configurations using the capacitor-electrode layers of the trench filling.

摘要翻译： 本发明涉及一种包括半导体衬底中的沟槽的可配置沟槽多电容器器件。 沟槽的横向延伸超过10微米，沟槽填充物包括多个至少四个导电电容器电极层。 提供一种开关单元，其包括在沟槽填充物的不同电容器 - 电极层之间电连接的多个开关元件。 控制单元与开关单元连接，并且被配置为使用沟槽填充的电容器电极层来生成并向开关单元提供各自的控制信号，以形成多个多电容器配置中的相应一个。