본딩 장치 및 본딩 방법
    1.
    发明公开
    본딩 장치 및 본딩 방법 审中-实审
    连接装置和接合方法

    公开(公告)号:KR1020160147045A

    公开(公告)日:2016-12-21

    申请号:KR1020167033808

    申请日:2015-04-28

    摘要: 본딩장치(10)는본딩작업면을향하여배치된탑 카메라(24)와, 탑카메라(24)와오프셋을가지고배치되는콜릿(22)을일체로유지하면서이동하는본딩헤드(18)와, 콜릿(22)에유지된반도체칩(100)의콜릿(22)에대한위치를검출하기위해, 콜릿(22)측을향해설치된보톰카메라(28)와, 보톰카메라(28)의시야내에배치된레퍼런스마크(32)와, 제어부(40)를구비하고, 제어부(40)는탑 카메라(24)에서인식된마크(32)의위치에기초하여본딩헤드(18)를이동시킨뒤, 보톰카메라(28)에서인식된레퍼런스마크(32)에대한콜릿(22)의위치에기초하여오프셋의값을산출한다. 이것에의해, 전용의카메라를설치하지않고, 본딩툴과위치검출용카메라의오프셋을용이하게검출할수 있는본딩장치를제공한다.

    摘要翻译: 该接合装置(10)设置有:一体地保持并移动面向接合工作面设置的顶部摄像机(24)的接合头(18),以及相对于所述接合工具 顶级相机(24); 相对于所述夹头(22)检测由所述夹头(22)保持的半导体芯片(100)的位置,所述底部照相机(28)面向所述夹头(22)侧设置; 设置在底部摄像机(28)的视场内的参考标记(32); 和控制单元(40)。 控制单元(40)基于由顶部摄像机(24)识别的标记(32)的位置移动接合头(18),并且随后基于夹头的位置来计算偏移值( 22)相对于由底部照相机(28)识别的参考标记(32)。 结果,提供了一种能够容易地检测到接合工具和位置检测摄像机之间的偏移的接合装置,而不必提供专用的照相机。