埋图案基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN100589684C

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200710086741.6

    申请日:2007-03-13

    IPC分类号: H05K3/46 H05K1/11

    摘要: 本发明披露了一种埋图案基板及其制造方法。一种制造在表面上形成有电路图案的埋图案基板的方法,其中,电路图案通过钉头凸点电连接,该方法包括:(a)通过在载体膜的晶种层上选择性地沉积镀层形成电路图案和钉头凸点,其中,晶种层层压在载体膜的表面上;(b)将载体膜层压并压到绝缘层上,以使电路图案和钉头凸点面向绝缘层;以及(c)去除载体膜和晶种层,以使用铜(Cu)钉头凸点实现电路互连,以便无需用于互连的钻孔工艺、提高了电路设计中的自由度、通孔连接盘变得不必要、以及通孔尺寸小,从而使得电路中的密度更高。