封装件及其形成方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118712053A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410739926.6

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 根据本申请的实施例,提供了一种形成封装件的方法,包括蚀刻晶圆的部分以在晶圆的划线中形成第一沟槽,其中划线位于晶圆的第一器件管芯和第二器件管芯之间。在蚀刻之后,划线中的晶圆的部分的顶面位于第一沟槽下面并且暴露于第一沟槽,并且第一沟槽位于晶圆的相对侧壁之间。然后执行激光开槽工艺以形成第二沟槽,第二沟槽从顶面进一步向下延伸到晶圆中,并且第二沟槽横向地位于晶圆的相对侧壁之间。然后执行管芯锯切工艺以锯切晶圆。管芯锯切工艺从第二沟槽的底部执行,并且管芯锯切工艺导致第一器件管芯与第二器件管芯分离。根据本申请的其他实施例,还提供了封装件。

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