用于运行电容式传感器的电路和传感器设备

    公开(公告)号:CN119892075A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411480977.8

    申请日:2024-10-23

    Abstract: 用于运行电容式传感器的电路可以在第一至第三模式中运行。GM级接收施加在该电容式传感器的传感器输出部上的传感器电压并且输出电流。积分器在时间变化过程内对该电流进行积分并且输出由此得出的输出电压。该电路将该输出电压提供给模数转换器。在第一和第二模式中,将该输出电压提供向电容式传感器作为反馈电压。在第一模式中,进一步在GM级和积分器中执行偏移校正。在第二模式中,高阻抗地接通该电容式传感器的输出。在第三模式中,向电容式传感器提供参考电压。

    用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置

    公开(公告)号:CN105321953A

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201510457929.1

    申请日:2015-07-30

    Abstract: 本发明创造一种用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置。所述制造方法包括以下步骤:在衬底(1)上沉积第一电极层(2),在所述第一电极层(2)上沉积第一绝缘层(3),在所述第一绝缘层(3)中构造贯通开口(10)以便在所述贯通开口(10)内暴露所述第一电极层(2),在所述第一绝缘层(3)上并且在所述贯通开口(10)内的第一电极层(2)上沉积压电层(4),背侧打磨所得到的结构以构造平的表面(OF),在所述表面上暴露由所述第一绝缘层(3)包围的压电层区域(4a),以及在所述第一绝缘层(3)上沉积并且结构化第二电极层(5),所述第二电极层接通所述压电层区域(1)。

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