半导体装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101150130B

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN200710128760.0

    申请日:2007-07-12

    发明人: 汪坤发 王琳松

    IPC分类号: H01L27/04

    摘要: 本发明提供一种半导体装置。上述半导体装置包括:半导体基板;第一介电层,设置于该半导体基板上,具有沿第一方向的第一导线,其中该第一导线的顶表面比该第一介电层的顶表面低;第二介电层,位于该第一介电层上,包括对应第一二极管构件的开口;以及半导体二极管元件,包括设置于该第一导线上的该第一二极管构件以及填入该开口中的第二二极管构件与第三二极管构件,其中该第一二极管构件的顶表面与该第一介电层的顶表面齐高。本发明能够避免PIN二极管在柱状结构中掀离并扩大工艺窗口以提升工艺成品率。

    交叉点型半导体存储装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101794806B

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201010002862.X

    申请日:2010-01-21

    申请人: 索尼公司

    发明人: 佐佐木正义

    IPC分类号: H01L27/24 H01L21/82

    摘要: 本发明提供一种交叉点型半导体存储装置及其制造方法。该交叉点型半导体存储装置包括:多个第一布线,沿第一方向延伸;多个第二布线,位于与第一布线不同的层上以沿不同于第一方向的第二方向延伸;以及存储部,设置在第一布线与第二布线的交叠区域中,其中奇数编号的第一布线和偶数编号的第一布线布置在上下方向不同的层间绝缘层上。

    包括具有被电隔离的柱的二极管的共享的二极管器件部的叠轨式堆叠的非易失性存储器阵列

    公开(公告)号:CN102067315B

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN200980122197.3

    申请日:2009-06-02

    IPC分类号: H01L27/102

    CPC分类号: H01L27/1021

    摘要: 提供了一种集成电路及及其制造方法,该集成电路包括导体之间垂直取向的二极管结构。二端子装置例如无源元件存储器单元可以包括与反熔丝和/和其它状态改变元件串连的二极管操纵元件。所述装置使用柱结构在所述上和下导体组的交点形成。所述柱结构的高度通过每个柱的部分二极管与导体的其中之一形成叠轨式堆叠而被减小。在一实施例中,二极管可以包括第一导电类型的第一二极管器件和第二导电类型的第二二极管器件。所述二极管器件其中之一的一部分被划分为第一和第二部,所述部的其中之一形成为叠轨式堆叠,该部在该叠轨式堆叠与使用柱形成的其它二极管共享该叠轨式堆叠。

    存储器中的钨/二氧化硅交界面的衬垫

    公开(公告)号:CN101904008B

    公开(公告)日:2012-10-31

    申请号:CN200880117519.0

    申请日:2008-09-26

    IPC分类号: H01L27/102

    CPC分类号: H01L27/101 H01L27/1021

    摘要: 一种半导体晶片组件包括电介质基底。在其上方沉积硅层。在硅上方沉积金属硬掩模。在金属硬掩模上方沉积电介质硬掩模。在电介质硬掩模上方沉积光刻胶,由此多个牺牲柱由穿过光刻胶的金属硬掩模层形成,以便牺牲柱从硅层延伸出。界面层被设置在导电材料层和硬掩模层之间以增强多个牺牲柱中的每一个与导电材料层之间的粘合,从而通过防止由于牺牲柱脱落或跌落而使多个牺牲柱过早地从硅层上脱离来优化由硅形成结型二极管。