公开(公告)号：US09064881B2

公开(公告)日：2015-06-23

申请号：US12944453

申请日：2010-11-11

申请人： Tsung-Fu Tsai ,  Yian-Liang Kuo ,  Ming-Song Sheu ,  Yu-Ling Tsai ,  Chen-Shien Chen ,  Han-Ping Pu

发明人： Tsung-Fu Tsai ,  Yian-Liang Kuo ,  Ming-Song Sheu ,  Yu-Ling Tsai ,  Chen-Shien Chen ,  Han-Ping Pu

IPC分类号： H01L23/29 ,  H01L21/56 ,  H01L23/00

CPC分类号： H01L21/78 ,  H01L21/02013 ,  H01L21/02016 ,  H01L21/563 ,  H01L23/295 ,  H01L23/562 ,  H01L24/32 ,  H01L24/743 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/26145 ,  H01L2224/27013 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81009 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2924/10156 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/10155 ,  H01L2924/00

摘要： A die has a first surface, a second surface opposite the first surface, and sidewalls includes a first portion and a second portion, wherein the first portion is closer to the first surface than the second portion. A fillet contacts the first portion of sidewalls of the die and encircles the die. A work piece is bonded to the die through solder bumps, with the second surface facing the work piece. A first underfill is filled a gap between the die and the work piece, wherein the first underfill contacts the fillet, and wherein the first underfill and the fillet are formed of different materials.

摘要翻译： 模具具有第一表面，与第一表面相对的第二表面，并且侧壁包括第一部分和第二部分，其中第一部分比第二部分更靠近第一表面。 圆角接触模具的侧壁的第一部分并且环绕模具。 工件通过焊料凸块与模具结合，第二表面面向工件。 第一底部填充物填充模具和工件之间的间隙，其中第一底部填充物接触圆角，并且其中第一底部填充物和圆角由不同的材料形成。

公开(公告)号：US20120119354A1

公开(公告)日：2012-05-17

申请号：US12944453

申请日：2010-11-11

申请人： Tsung-Fu Tsai ,  Yian-Liang Kuo ,  Ming-Song Sheu ,  Yu-Ling Tsai ,  Chen-Shien Chen ,  Han-Ping Pu

发明人： Tsung-Fu Tsai ,  Yian-Liang Kuo ,  Ming-Song Sheu ,  Yu-Ling Tsai ,  Chen-Shien Chen ,  Han-Ping Pu

IPC分类号： H01L23/498 ,  H01L21/50 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L21/78 ,  H01L21/02013 ,  H01L21/02016 ,  H01L21/563 ,  H01L23/295 ,  H01L23/562 ,  H01L24/32 ,  H01L24/743 ,  H01L24/81 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/26145 ,  H01L2224/27013 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81009 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/83104 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/92125 ,  H01L2924/10156 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/10155 ,  H01L2924/00

摘要： A die has a first surface, a second surface opposite the first surface, and sidewalls includes a first portion and a second portion, wherein the first portion is closer to the first surface than the second portion. A fillet contacts the first portion of sidewalls of the die and encircles the die. A work piece is bonded to the die through solder bumps, with the second surface facing the work piece. A first underfill is filled a gap between the die and the work piece, wherein the first underfill contacts the fillet, and wherein the first underfill and the fillet are formed of different materials.

摘要翻译： 模具具有第一表面，与第一表面相对的第二表面，并且侧壁包括第一部分和第二部分，其中第一部分比第二部分更靠近第一表面。 圆角接触模具的侧壁的第一部分并且环绕模具。 工件通过焊料凸块与模具结合，第二表面面向工件。 第一底部填充物填充模具和工件之间的间隙，其中第一底部填充物接触圆角，并且其中第一底部填充物和圆角由不同的材料形成。

公开(公告)号：US20120319270A1

公开(公告)日：2012-12-20

申请号：US13162394

申请日：2011-06-16

申请人： Yu-Feng Chen ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo ,  Yu Yi Huang

发明人： Yu-Feng Chen ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo ,  Yu Yi Huang

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L23/562 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/3192 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/131 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/014 ,  H01L2224/05552

摘要： A structure includes a metal pad over a semiconductor substrate, a passivation layer having a portion over the metal pad, and a first polyimide layer over the passivation layer, wherein the first polyimide layer has a first thickness and a first Young's modulus. A post-passivation interconnect (PPI) includes a first portion over the first polyimide layer, and a second portion extending into the passivation layer and the first polyimide layer. The PPI is electrically coupled to the metal pad. A second polyimide layer is over the PPI. The second polyimide layer has a second thickness and a second Young's modulus. At least one of a thickness ratio and a Young's modulus ratio is greater than 1.0, wherein the thickness ratio is the ratio of the first thickness to the second thickness, and the Young's modulus ratio is the ratio of the second Young's modulus to the first Young's modulus.

摘要翻译： 一种结构包括半导体衬底上的金属焊盘，具有金属焊盘上方的一部分的钝化层以及钝化层上的第一聚酰亚胺层，其中第一聚酰亚胺层具有第一厚度和第一杨氏模量。 后钝化互连（PPI）包括在第一聚酰亚胺层之上的第一部分，以及延伸到钝化层和第一聚酰亚胺层中的第二部分。 PPI电耦合到金属垫。 第二个聚酰亚胺层位于PPI之上。 第二聚酰亚胺层具有第二厚度和第二杨氏模量。 厚度比和杨氏模量比中的至少一个大于1.0，其中厚度比是第一厚度与第二厚度的比率，杨氏模量比是第二杨氏模量与第一杨氏模量之比 模数。

公开(公告)号：US07871860B1

公开(公告)日：2011-01-18

申请号：US12620321

申请日：2009-11-17

申请人： Han-Ping Pu ,  Tsung-Shu Lin ,  Chen-Shien Chen

发明人： Han-Ping Pu ,  Tsung-Shu Lin ,  Chen-Shien Chen

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/50 ,  H01L21/48 ,  H01L21/44 ,  H01L21/46

CPC分类号： H01L24/81 ,  H01L21/563 ,  H01L24/16 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/81211 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/1306 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00

摘要： The present disclosure provides a method of fabricating a semiconductor device. The method includes providing a chip and a substrate. The method also includes bonding the chip to the substrate. The method also includes, after the bonding the chip, dispensing a sealing material between the chip and the substrate. In accordance with the method, the chip and the substrate are maintained within a temperature range from the bonding the chip to the dispensing the sealing material, and wherein a lower limit of the temperature range is approximately twice a room temperature.

摘要翻译： 本公开提供了制造半导体器件的方法。 该方法包括提供芯片和基板。 该方法还包括将芯片接合到衬底。 该方法还包括在粘合芯片之后，在芯片和基板之间分配密封材料。 根据该方法，将芯片和基板保持在从接合芯片到分配密封材料的温度范围内，并且其中温度范围的下限约为室温的两倍。

公开(公告)号：US08927333B2

公开(公告)日：2015-01-06

申请号：US13302059

申请日：2011-11-22

申请人： Tsung-Shu Lin ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu

发明人： Tsung-Shu Lin ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/76 ,  H01L23/48 ,  H01L23/552 ,  H01L25/10

CPC分类号： H01L25/105 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2225/1017 ,  H01L2225/1041 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/00012

摘要： A package-on-package arrangement for maintaining die alignment during a reflow operation is provided. A first top die has a first arrangement of solder bumps. A bottom package has a first electrical arrangement to electrically connect to the first arrangement of solder bumps. A die carrier has a plurality of mounting regions defined on its bottom surface, wherein the first top die is adhered to the die carrier at a first of the plurality of mounting regions. One of a second top die and a dummy die having a second arrangement of solder bumps is also fixed to the die carrier at a second of the plurality of mounting regions of the die carrier. The first and second arrangements of solder bumps are symmetric to one another, therein balancing a surface tension during a reflow operation, and generally fixing an orientation of the die carrier with respect to the bottom package.

摘要翻译： 提供了一种用于在回流操作期间维持管芯对准的封装封装布置。 第一顶模具有焊料凸块的第一布置。 底部封装具有电连接到第一焊料凸点布置的第一电气布置。 模具载体具有限定在其底表面上的多个安装区域，其中第一顶模在多个安装区域中的第一个处粘附到模具载体。 具有第二排列焊料凸点的第二顶模和虚模具之一也在模具载体的多个安装区域的第二位置处固定到模具载体。 焊料凸块的第一和第二布置彼此对称，其中在回流操作期间平衡表面张力，并且通常相对于底部封装固定模具载体的取向。

公开(公告)号：US08373282B2

公开(公告)日：2013-02-12

申请号：US13162394

申请日：2011-06-16

申请人： Yu-Feng Chen ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo ,  Yu Yi Huang

发明人： Yu-Feng Chen ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo ,  Yu Yi Huang

IPC分类号： H01L23/52 ,  H01L23/48 ,  H01L29/40

CPC分类号： H01L23/562 ,  H01L23/293 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/3192 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05022 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/131 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/014 ,  H01L2224/05552

摘要： A structure includes a metal pad over a semiconductor substrate, a passivation layer having a portion over the metal pad, and a first polyimide layer over the passivation layer, wherein the first polyimide layer has a first thickness and a first Young's modulus. A post-passivation interconnect (PPI) includes a first portion over the first polyimide layer, and a second portion extending into the passivation layer and the first polyimide layer. The PPI is electrically coupled to the metal pad. A second polyimide layer is over the PPI. The second polyimide layer has a second thickness and a second Young's modulus. At least one of a thickness ratio and a Young's modulus ratio is greater than 1.0, wherein the thickness ratio is the ratio of the first thickness to the second thickness, and the Young's modulus ratio is the ratio of the second Young's modulus to the first Young's modulus.

摘要翻译： 一种结构包括半导体衬底上的金属焊盘，具有金属焊盘上方的一部分的钝化层以及钝化层上的第一聚酰亚胺层，其中第一聚酰亚胺层具有第一厚度和第一杨氏模量。 后钝化互连（PPI）包括在第一聚酰亚胺层之上的第一部分，以及延伸到钝化层和第一聚酰亚胺层中的第二部分。 PPI电耦合到金属垫。 第二个聚酰亚胺层位于PPI之上。 第二聚酰亚胺层具有第二厚度和第二杨氏模量。 厚度比和杨氏模量比中的至少一个大于1.0，其中厚度比是第一厚度与第二厚度的比率，杨氏模量比是第二杨氏模量与第一杨氏模量之比 模数。

公开(公告)号：US20130127040A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：US13302059

申请日：2011-11-22

申请人： Tsung-Shu Lin ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu

发明人： Tsung-Shu Lin ,  Yu-Ling Tsai ,  Han-Ping Pu

IPC分类号： H01L23/485 ,  B23K1/00 ,  B23K1/20 ,  B23K31/12

CPC分类号： H01L25/105 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73253 ,  H01L2225/1017 ,  H01L2225/1041 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/00012

摘要： A package-on-package arrangement for maintaining die alignment during a reflow operation is provided. A first top die has a first arrangement of solder bumps. A bottom package has a first electrical arrangement to electrically connect to the first arrangement of solder bumps. A die carrier has a plurality of mounting regions defined on its bottom surface, wherein the first top die is adhered to the die carrier at a first of the plurality of mounting regions. One of a second top die and a dummy die having a second arrangement of solder bumps is also fixed to the die carrier at a second of the plurality of mounting regions of the die carrier. The first and second arrangements of solder bumps are symmetric to one another, therein balancing a surface tension during a reflow operation, and generally fixing an orientation of the die carrier with respect to the bottom package.

摘要翻译： 提供了一种用于在回流操作期间维持管芯对准的封装封装布置。 第一顶模具有焊料凸块的第一布置。 底部封装具有电连接到第一焊料凸点布置的第一电气布置。 模具载体具有限定在其底表面上的多个安装区域，其中第一顶模在多个安装区域中的第一个处粘附到模具载体。 具有第二排列焊料凸点的第二顶模和虚模具之一也在模具载体的多个安装区域的第二位置处固定到模具载体。 焊料凸块的第一和第二布置彼此对称，其中在回流操作期间平衡表面张力，并且通常相对于底部封装固定模具载体的取向。

公开(公告)号：US09978656B2

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：US13406270

申请日：2012-02-27

申请人： Tsung-Shu Lin ,  Han-Ping Pu ,  Ming-Da Cheng ,  Chang-Chia Huang ,  Hao-Juin Liu

发明人： Tsung-Shu Lin ,  Han-Ping Pu ,  Ming-Da Cheng ,  Chang-Chia Huang ,  Hao-Juin Liu

IPC分类号： H01L23/00 ,  H01L23/29 ,  H01L23/31 ,  H01L21/56

CPC分类号： H01L23/293 ,  H01L21/568 ,  H01L23/3157 ,  H01L24/02 ,  H01L24/03 ,  H01L24/04 ,  H01L24/05 ,  H01L24/06 ,  H01L24/10 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/13 ,  H01L24/14 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05541 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/1146 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/1181 ,  H01L2224/1191 ,  H01L2224/13005 ,  H01L2224/13007 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13083 ,  H01L2224/13109 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13155 ,  H01L2224/13164 ,  H01L2224/16237 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/81193 ,  H01L2224/81411 ,  H01L2224/81413 ,  H01L2224/81416 ,  H01L2224/81439 ,  H01L2224/81447 ,  H01L2224/81455 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/1306 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/206 ,  H01L2924/207 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05552

摘要： The mechanisms of forming a copper post structures described enable formation of copper post structures on a flat conductive surface. In addition, the copper post structures are supported by a molding layer with a Young's modulus (or a harder material) higher than polyimide. The copper post structures formed greatly reduce the risk of cracking of passivation layer and delamination of at the dielectric interface surrounding the copper post structures.

公开(公告)号：US09502360B2

公开(公告)日：2016-11-22

申请号：US13348449

申请日：2012-01-11

申请人： Chun-Hung Lin ,  Yu-Feng Chen ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo

发明人： Chun-Hung Lin ,  Yu-Feng Chen ,  Han-Ping Pu ,  Hung-Jui Kuo

IPC分类号： H01L23/52 ,  H01L23/00 ,  H01L25/10 ,  H01L23/31 ,  H01L21/56 ,  H01L23/498

CPC分类号： H01L23/562 ,  H01L21/565 ,  H01L23/3121 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/49822 ,  H01L25/105 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15321 ,  H01L2924/18161 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/00

摘要： A stress compensation for use in packaging, and a method of forming, is provided. The stress compensation layer is placed on an opposing side of a substrate from an integrated circuit die. The stress compensation layer is designed to counteract at least some of the stress exerted structures on the die side of the substrate, such as stresses exerted by a molding compound that at least partially encapsulates the first integrated circuit die. A package may also be electrically coupled to the substrate.

摘要翻译： 提供了用于包装的应力补偿，以及形成方法。 应力补偿层从集成电路管芯放置在衬底的相对侧上。 应力补偿层被设计成抵抗基板的模具侧上的应力施加结构中的至少一些，例如由至少部分地封装第一集成电路管芯的模制化合物施加的应力。 封装还可以电耦合到衬底。

公开(公告)号：US09418947B2

公开(公告)日：2016-08-16

申请号：US13406031

申请日：2012-02-27

申请人： Yu-Feng Chen ,  Chun-Hung Lin ,  Han-Ping Pu ,  Ming-Da Cheng ,  Kai-Chiang Wu

发明人： Yu-Feng Chen ,  Chun-Hung Lin ,  Han-Ping Pu ,  Ming-Da Cheng ,  Kai-Chiang Wu

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L23/00 ,  H01L25/10 ,  H01L23/498

CPC分类号： H01L25/0657 ,  H01L21/565 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/562 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/81 ,  H01L25/105 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/03334 ,  H01L2224/0384 ,  H01L2224/0391 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05075 ,  H01L2224/05147 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05181 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/11334 ,  H01L2224/1184 ,  H01L2224/1191 ,  H01L2224/13005 ,  H01L2224/13012 ,  H01L2224/13013 ,  H01L2224/13014 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/13078 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/13113 ,  H01L2224/13116 ,  H01L2224/13139 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13155 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16147 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/17181 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/81191 ,  H01L2224/81193 ,  H01L2224/81815 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2225/1088 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/1306 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/207 ,  H01L2924/206 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05552

摘要： The described embodiments of mechanisms of forming connectors for package on package enable smaller connectors with finer pitch, which allow smaller package size and additional connections. The conductive elements on one package are partially embedded in the molding compound of the package to bond with contacts or metal pads on another package. By embedding the conductive elements, the conductive elements may be made smaller and there are is gaps between the conductive elements and the molding compound. A pitch of the connectors can be determined by adding a space margin to a maximum width of the connectors. Various types of contacts on the other package can be bonded to the conductive elements.

摘要翻译： 所描述的形成用于封装封装的连接器的机构的实施例使得具有更细间距的较小连接器能够实现更小的封装尺寸和附加的连接。 一个封装上的导电元件部分地嵌入封装的模制化合物中，以与另一封装上的触点或金属焊盘结合。 通过嵌入导电元件，可以使导电元件更小，并且在导电元件和模塑料之间存在间隙。 可以通过将连接器的最大宽度添加空间余量来确定连接器的间距。 另一个封装上的各种类型的触点可以结合到导电元件上。