気密パッケージの製造方法及び気密パッケージ

    公开(公告)号:JP2017208391A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:JP2016098351

    申请日:2016-05-17

    摘要: 【課題】押え部材でガラス蓋を押圧せずとも、レーザー照射によりガラス蓋を容器に密着させて接合することができる気密パッケージの製造方法を提供する。 【解決手段】容器3の側壁部3bとガラス蓋5Aの間に封着材料4Aを配置して、側壁部3b上にガラス蓋5Aを載せる工程と、ガラス蓋5Aを凹部3方向に吸引することにより、ガラス蓋5Aを側壁部3b上の封着材料4Aに密着させる工程と、ガラス蓋5Aを封着材料4Aに密着させた状態で、レーザー光Lを照射して封着材料4Aを溶融させ、側壁部3bとガラス蓋5Aとを接合する工程とを備えることを特徴としている。 【選択図】図2

    Semiconductor device mounting structure
    10.
    发明专利
    Semiconductor device mounting structure 审中-公开
    半导体器件安装结构

    公开(公告)号:JP2007281292A

    公开(公告)日:2007-10-25

    申请号:JP2006107593

    申请日:2006-04-10

    发明人: OHARA SATOSHI

    IPC分类号: H01L23/02 H01L23/20

    摘要: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device mounting structure that makes it difficult for heat to be transmitted from a package to a semiconductor device fixed on it when the package temperature goes up, and prevents the semiconductor device from getting heat damaged by heat application to join the package and a lid for sealing and by temperature disturbance from the outside when it is used.
    SOLUTION: An MEMS device side fixed pad 104 is manufactured such that it becomes smaller than the total planar dimensions of a lower surface of an MEMS device 101. By doing so, the joint dimensions of the MEMS device 101 and MEMS device fixing solder 107, and the joint dimensions of the MEMS device fixing solder 107 and a package 102 can be respectively made small; thus making it hard for heat from the package 102 to be transmitted to the MEMS device 101 through the MEMS device fixing solder 107.
    COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

    摘要翻译: 要解决的问题:提供一种半导体器件安装结构,当封装温度升高时,难以将热量从封装传输到固定在其上的半导体器件,并且防止半导体器件受热损坏 通过热应用来加入包装和用于密封的盖子以及当使用时来自外部的温度干扰。 解决方案:制造MEMS器件侧固定焊盘104,使得其变得小于MEMS器件101的下表面的总平面尺寸。通过这样做,MEMS器件101和MEMS器件固定的关节尺寸 焊料107,并且可以分别使MEMS器件固定焊料107和封装102的接合尺寸小; 从而使来自封装102的热量难以通过MEMS器件固定焊料107传输到MEMS器件101.版权所有(C)2008,JPO&INPIT