基板および基板を形成する方法
    8.
    发明专利
    基板および基板を形成する方法 审中-公开
    形成基板和基板的方法

    公开(公告)号:JP2017505540A

    公开(公告)日:2017-02-16

    申请号:JP2016546790

    申请日:2015-01-22

    Abstract: 半導体パッケージ基板内の空洞形成のための方法および装置が提供される。一実施形態では、半導体パッケージ基板内に少なくとも1つの空洞を生成するための方法は、少なくとも1つの空洞を得るために少なくとも1つの意図した空洞位置において半導体パッケージ基板の表面から半導体パッケージ基板をエッチングするステップを含む。本方法は、空洞位置において基板上に銅部分を堆積させるステップを含む。次に、本方法は、銅部分を露出させながら基板をマスキングするステップを含む。最後に、本方法は、銅部分をエッチング除去することによって空洞を形成するために基板をエッチングするステップを含む。形成された構造部は、基板に埋め込まれたガラス構造部にダメージを与えることなく基板を通して部分的に延びる空洞を含む。

    Abstract translation: 提供了一种用于在半导体封装基板中的空洞形成方法和装置。 在一个实施例中,对于在半导体封装基板产生至少一个腔体,在从至少一个预期的空腔位置处的半导体封装基板的表面进行蚀刻的半导体封装基板,以获得至少一个空腔的方法 包括的步骤。 该方法包括沉积在空腔位置的基板上的铜的部分。 接下来,该方法包括同时暴露铜部分掩蔽所述衬底的步骤。 最后,该方法包括蚀刻衬底以形成腔体由铜部分蚀刻掉的步骤。 形成的结构部分包括,而不损坏该被嵌入在基板的玻璃结构穿过所述衬底部分地延伸的腔。

    プリント配線板およびその製造方法
    10.
    发明专利
    プリント配線板およびその製造方法 审中-公开
    其印刷布线板及其制造方法

    公开(公告)号:JP2016207893A

    公开(公告)日:2016-12-08

    申请号:JP2015089546

    申请日:2015-04-24

    Abstract: 【課題】第1面と第2面とを接続する導体ポストを形成し、その周囲をモールド用樹脂で被覆する場合に、樹脂絶縁層と導体ポスト等との密着性の向上。 【解決手段】第1面F1および第1面F1と反対側の第2面F2を有する配線導体層21と、配線導体層21の第2面F2上に形成される導体ポスト25と、第1表面SF1および第1表面SF1と反対側の第2表面SF2を有し、第1表面SF1側に配線導体層21の第1面F1が露出するように配線導体層21を埋め込むと共に、導体ポスト25の側面を被覆し、導体ポスト25の端面25aを第2表面SF2側に露出させる樹脂絶縁層30とを備えている。実施形態では、導体ポスト25の側面25bおよび端面25aに粗化処理が施されており、側面25bの表面粗さを第1粗さRa1、端面25aの表面粗さを第2粗さRa2とするとき、Ra1>Ra2となるように形成されている。 【選択図】図1A

    Abstract translation: A的第一表面和第二表面,以形成导电柱连接,围绕一个模制树脂,改善在树脂绝缘层和导体柱等之间的粘附性涂层时。 第一表面F1与第一表面F1和具有表面F2相对的第二布线导体层21,导体柱25形成在布线导体层21,第一的第二表面F2 相对的表面SF1和第一表面SF1的一侧的第二表面SF2,与第一表面SF1侧上的配线导体层21的第一表面F1一起嵌入配线导体层21,以露出导体柱25 侧涂布,并且其端面25a的上导电柱25的第二表面SF2侧露出的树脂绝缘层30。 在实施例中,粗糙化处理是在侧面25b和导电柱25的端部表面25a进行的,所述侧表面的表面粗糙度25B第一粗糙度器Ra1,端部表面25a的表面粗糙度和第二粗糙度Ra2的 当该器Ra1> Ra2的形成。 点域1A

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