公开(公告)号：US20140327149A1

公开(公告)日：2014-11-06

申请号：US14333110

申请日：2014-07-16

申请人： John S. Guzek ,  Ravi K. Nalla ,  Javier Solo Gonzalez ,  Drew Delaney ,  Suresh Pothukuchi ,  Mohit Mamodia ,  Edward Zarbock ,  Johanna M. Swan

发明人： John S. Guzek ,  Ravi K. Nalla ,  Javier Solo Gonzalez ,  Drew Delaney ,  Suresh Pothukuchi ,  Mohit Mamodia ,  Edward Zarbock ,  Johanna M. Swan

IPC分类号： H01L23/538

CPC分类号： H01L23/5384 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/82 ,  H01L25/03 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/18 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/24226 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48472 ,  H01L2224/73259 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

摘要： An apparatus includes a coreless substrate with a through-silicon via (TSV) embedded die that is integral to the coreless substrate. The apparatus includes a subsequent die that is coupled to the TSV die and that is disposed above the coreless substrate.

摘要翻译： 一种装置包括具有与无芯基板成一体的贯通硅通孔（TSV）嵌入管芯的无芯基板。 该设备包括连接到TSV管芯并且设置在无芯基板之上的后续管芯。

公开(公告)号：US20140084467A1

公开(公告)日：2014-03-27

申请号：US14090461

申请日：2013-11-26

申请人： Ravi K. Nalla ,  John S. Guzek ,  Javier Soto Gonzalez ,  Drew W. Delaney ,  Hamid R. Azimi

发明人： Ravi K. Nalla ,  John S. Guzek ,  Javier Soto Gonzalez ,  Drew W. Delaney ,  Hamid R. Azimi

IPC分类号： H01L21/56 ,  H01L23/498

CPC分类号： H01L23/49822 ,  H01L21/02109 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L21/76897 ,  H01L23/4824 ,  H01L23/498 ,  H01L23/49866 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/552 ,  H01L23/645 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L25/16 ,  H01L2221/68359 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/19 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/83005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/1206 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1436 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/3511 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682 ,  H01L2924/00

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include attaching a die to a carrier material, wherein the carrier material comprises a top layer and a bottom layer separated by an etch stop layer; forming a dielectric material adjacent the die, forming a coreless substrate by building up layers on the dielectric material, and then removing the top layer carrier material and etch stop layer from the bottom layer carrier material.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括将管芯附接到载体材料，其中载体材料包括由蚀刻停止层分隔的顶层和底层; 在模具附近形成电介质材料，通过在电介质材料上形成层而形成无芯衬底，然后去除顶层载体材料并从底层载体材料蚀刻停止层。

公开(公告)号：US20130052776A1

公开(公告)日：2013-02-28

申请号：US13660095

申请日：2012-10-25

申请人： Ravi K. Nalla ,  Drew W. Delaney

发明人： Ravi K. Nalla ,  Drew W. Delaney

IPC分类号： H01L21/58 ,  H01L21/50

CPC分类号： H01L23/585 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/552 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13021 ,  H01L2224/2101 ,  H01L2224/221 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/3511 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682 ,  H01L2924/00

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include forming a cavity in a carrier material, attaching a die in the cavity, wherein a backside of the die comprises a metal filled DBF, forming a dielectric material adjacent the die and on a bottom side of the carrier material, forming a coreless substrate by building up layers on the dielectric material, and removing the carrier material from the coreless substrate.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括在载体材料中形成空腔，将模具附接在空腔中，其中模具的背面包括填充金属的DBF，在模具附近形成介电材料并在载体材料的底侧上形成 通过在电介质材料上建立层，以及从无芯基板去除载体材料，从而形成无芯基板。

公开(公告)号：US08319318B2

公开(公告)日：2012-11-27

申请号：US12755201

申请日：2010-04-06

申请人： Ravi K Nalla ,  Drew Delaney

发明人： Ravi K Nalla ,  Drew Delaney

IPC分类号： H01L23/552 ,  H01L23/34

CPC分类号： H01L23/585 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/552 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13021 ,  H01L2224/2101 ,  H01L2224/221 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/3511 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682 ,  H01L2924/00

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include forming a cavity in a carrier material, attaching a die in the cavity, wherein a backside of the die comprises a metal filled DBF, forming a dielectric material adjacent the die and on a bottom side of the carrier material, forming a coreless substrate by building up layers on the dielectric material, and removing the carrier material from the coreless substrate.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括在载体材料中形成空腔，将模具附接在空腔中，其中模具的背面包括填充金属的DBF，在模具附近形成介电材料并在载体材料的底侧上形成 通过在电介质材料上建立层，以及从无芯基板去除载体材料，从而形成无芯基板。

公开(公告)号：US08304913B2

公开(公告)日：2012-11-06

申请号：US12890045

申请日：2010-09-24

申请人： Ravi K Nalla ,  Pramod Malatkar ,  Mathew J Manusharow

发明人： Ravi K Nalla ,  Pramod Malatkar ,  Mathew J Manusharow

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L24/24 ,  H01L24/25 ,  H01L24/82 ,  H01L24/93 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/50 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/19 ,  H01L2224/20 ,  H01L2224/21 ,  H01L2224/2101 ,  H01L2224/211 ,  H01L2224/22 ,  H01L2224/2201 ,  H01L2224/221 ,  H01L2224/24011 ,  H01L2224/24146 ,  H01L2224/251 ,  H01L2224/25105 ,  H01L2224/2518 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/82005 ,  H01L2224/821 ,  H01L2224/82101 ,  H01L2224/82106 ,  H01L2224/93 ,  H01L2225/06524 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2224/82 ,  H01L2221/68304 ,  H01L2924/00

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include a die embedded in a coreless substrate, wherein a mold compound surrounds the die, and wherein the die comprises TSV connections on a first side and C4 pads on a second side of the die, a dielectric material on a first side and on a second side of the mold compound; and interconnect structures coupled to the C4 pads and to the TSV pads. Embodiments further include forming packaging structures wherein multiple dies are fully embedded within a BBUL package without PoP lands.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括嵌入在无芯基板中的模具，其中模具化合物围绕模头，并且其中模具包括在第一侧上的TSV连接和在模具的第二侧上的C4焊盘，在第一侧上的电介质材料， 在模具化合物的第二面上; 以及耦合到C4焊盘和TSV焊盘的互连结构。 实施例还包括形成其中多个管芯完全嵌入在不具有PoP焊盘的BBUL封装内的封装结构。

公开(公告)号：US20120139095A1

公开(公告)日：2012-06-07

申请号：US12959515

申请日：2010-12-03

申请人： Mathew J. Manusharow ,  Ravi K. Nalla

发明人： Mathew J. Manusharow ,  Ravi K. Nalla

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L21/50

CPC分类号： H01L23/564 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/13 ,  H01L23/36 ,  H01L23/3677 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/19 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2221/68359 ,  H01L2221/68381 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/18162

摘要： A low-profile microelectronic package includes a die (110) (having a first surface (111) and a second surface (112)) and a package substrate (120). The substrate includes an electrically insulating layer (121) that forms a first side (126) of the substrate, an electrically conductive layer (122) connected to the die, and a protective layer (123) over the conductive layer that forms a second side (127) of the substrate. The first surface of the die is located at the first side of the substrate. The insulating layer has a plurality of pads (130) formed therein. The package further includes an array of interconnect structures (140) located at the first side of the substrate. Each interconnect structure in the array of interconnect structures has a first end (141) and a second end (142), and the first end is connected to one of the pads.

摘要翻译： 薄型微电子封装包括具有第一表面（111）和第二表面（112）的管芯（110）和封装衬底（120）。 衬底包括形成衬底的第一侧（126）的电绝缘层（121），连接到管芯的导电层（122）和形成第二侧的导电层上的保护层（123） （127）。 模具的第一表面位于基板的第一侧。 绝缘层具有形成在其中的多个焊盘（130）。 该封装还包括位于衬底第一侧的互连结构阵列（140）。 互连结构阵列中的每个互连结构具有第一端（141）和第二端（142），并且第一端连接到其中一个焊盘。

公开(公告)号：US20120074581A1

公开(公告)日：2012-03-29

申请号：US12890082

申请日：2010-09-24

申请人： John S. Guzek ,  Ravi K. Nalla ,  Javier Soto Gonzalez ,  Drew Delaney ,  Suresh Pothukuchi ,  Mohit Mamodia ,  Edward Zarbock ,  Johanna M. Swan

发明人： John S. Guzek ,  Ravi K. Nalla ,  Javier Soto Gonzalez ,  Drew Delaney ,  Suresh Pothukuchi ,  Mohit Mamodia ,  Edward Zarbock ,  Johanna M. Swan

IPC分类号： H01L23/538 ,  H01L21/50

CPC分类号： H01L23/5384 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/24 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/82 ,  H01L25/03 ,  H01L25/0657 ,  H01L25/18 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/24226 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48472 ,  H01L2224/73259 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15174 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

摘要： An apparatus includes a coreless substrate with a through-silicon via (TSV) embedded die that is integral to the coreless substrate. The apparatus includes a subsequent die that is coupled to the TSV die and that is disposed above the coreless substrate.

摘要翻译： 一种装置包括具有与无芯基板成一体的贯通硅通孔（TSV）嵌入管芯的无芯基板。 该设备包括连接到TSV管芯并且设置在无芯基板之上的后续管芯。

公开(公告)号：US20110241186A1

公开(公告)日：2011-10-06

申请号：US12755201

申请日：2010-04-06

申请人： Ravi K. Nalla ,  Drew Delaney

发明人： Ravi K. Nalla ,  Drew Delaney

IPC分类号： H01L23/552 ,  H01L21/50 ,  H01L21/58

CPC分类号： H01L23/585 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L23/3128 ,  H01L23/552 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13021 ,  H01L2224/2101 ,  H01L2224/221 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1815 ,  H01L2924/3511 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682 ,  H01L2924/00

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include forming a cavity in a carrier material, attaching a die in the cavity, wherein a backside of the die comprises a metal filled DBF, forming a dielectric material adjacent the die and on a bottom side of the carrier material, forming a coreless substrate by building up layers on the dielectric material, and removing the carrier material from the coreless substrate.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括在载体材料中形成空腔，将模具附接在空腔中，其中模具的背面包括填充金属的DBF，在模具附近形成介电材料并在载体材料的底侧上形成 通过在电介质材料上建立层，以及从无芯基板去除载体材料，从而形成无芯基板。

公开(公告)号：US20150050781A1

公开(公告)日：2015-02-19

申请号：US14529881

申请日：2014-10-31

申请人： John S. Guzek ,  Javier Soto Gonzalez ,  Nicholas R. Watts ,  Ravi K Nalla

发明人： John S. Guzek ,  Javier Soto Gonzalez ,  Nicholas R. Watts ,  Ravi K Nalla

IPC分类号： H01L23/00 ,  H01L21/56 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L24/11 ,  H01L21/56 ,  H01L21/568 ,  H01L21/6835 ,  H01L21/768 ,  H01L23/315 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/19 ,  H01L24/26 ,  H01L24/27 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/83 ,  H01L25/03 ,  H01L25/074 ,  H01L25/105 ,  H01L25/117 ,  H01L2221/68345 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/11831 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13025 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/24145 ,  H01L2224/24227 ,  H01L2224/26 ,  H01L2224/27312 ,  H01L2224/2732 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/451 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/821 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2224/83874 ,  H01L2224/92132 ,  H01L2225/1035 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/3511 ,  H01L2924/40252 ,  H01L2924/40407 ,  H01L2924/40501 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682 ,  H05K2201/10477 ,  H05K2203/0152 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/45099

摘要： Embodiments of the present invention describe a semiconductor package having an embedded die. The semiconductor package comprises a coreless substrate that contains the embedded die. The semiconductor package provides die stacking or package stacking capabilities. Furthermore, embodiments of the present invention describe a method of fabricating the semiconductor package that minimizes assembly costs.

摘要翻译： 本发明的实施例描述了具有嵌入式管芯的半导体封装。 该半导体封装包括一个包含嵌入式裸片的无芯基板。 半导体封装提供管芯堆叠或封装堆叠功能。 此外，本发明的实施例描述了一种使组装成本最小化的半导体封装的制造方法。

公开(公告)号：US20140367843A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：US14293222

申请日：2014-06-02

申请人： Ravi K. Nalla ,  Mathew J. Manusharow

发明人： Ravi K. Nalla ,  Mathew J. Manusharow

IPC分类号： H01L23/00 ,  H01L23/48 ,  H01L21/768 ,  H01L23/36

CPC分类号： H01L24/20 ,  H01L21/568 ,  H01L21/768 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/34 ,  H01L23/36 ,  H01L23/367 ,  H01L23/481 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/19 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13021 ,  H01L2224/2101 ,  H01L2224/221 ,  H01L2224/24227 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01078 ,  H05K1/0209 ,  H05K1/185 ,  H05K3/4682

摘要： Methods of forming a microelectronic packaging structure and associated structures formed thereby are described. Those methods may include attaching a die to a carrier material, forming dielectric material surrounding the die, forming buildup layers in the dielectric material to form a coreless bumpless buildup package structure, and patterning the carrier material to form microchannel structures on the package structure.

摘要翻译： 描述了形成微电子封装结构的方法及由此形成的相关结构。 这些方法可以包括将管芯附接到载体材料，形成围绕管芯的电介质材料，在电介质材料中形成堆积层，以形成无芯无阻堆积的封装结构，以及图案化载体材料以在封装结构上形成微通道结构。