半导体装置的安装方法、半导体装置及其安装结构

    公开(公告)号:CN1750246A

    公开(公告)日:2006-03-22

    申请号:CN200510099995.2

    申请日:2005-09-13

    Inventor: 桥元伸晃

    Abstract: 本发明提供一种安装可靠性提高,进而可进行高密度安装的半导体装置的安装方法和半导体装置的安装结构,和适用于其的半导体装置。是在具有导电部(8)的基板(7)上倒装焊接具有凸起(3)的半导体芯片(2)的半导体装置的安装方法。该方法包括:在半导体芯片(2)的凸起形成面上形成具有感光性且粘接性的树脂层(5)的步骤;通过曝光树脂层(5),进而进行显影,而去除凸起(3)正上部的树脂,使凸起(3)的上面露出的步骤;通过在基板(7)上倒装焊接形成了由树脂层(5)构成的树脂膜(6)的半导体芯片(2),并将树脂膜(6)作为粘接剂起作用,而使半导体芯片(2)的凸起(3)和基板(7)的导电部(8)电导通的步骤。

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