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1.STRUCTURED INTEGRATED CIRCUIT DEVICE WITH MULTIPLE CONFIGURABLE VIA LAYERS 审中-公开
Title translation: 具有多层配置的结构化集成电路设备公开(公告)号:WO2016160426A1
公开(公告)日:2016-10-06
申请号:PCT/US2016/023604
申请日:2016-03-22
Applicant: EASIC CORPORATION
Inventor: ANDREEV, Alexander , SCEPANOVIC, Ranko
IPC: H01L23/525 , H01L23/52 , H03K19/177
CPC classification number: H01L23/5226 , H01L21/76877 , H01L21/823475 , H01L23/525 , H01L23/5283 , H01L27/11807 , H01L2027/11888
Abstract: An integrated circuit may include a multi-layer structure having alternating metal interconnection layers and via layers superimposed on a base layer having electronic components, functional blocks, or both. At least two of the via layers may be customizable and may be used to form customized interconnections that may customize functionality of the resulting integrated circuit. In a variant, at least some of the layers may have a default structure that may result in a default integrated circuit functionality; the default structure may be changed to customize functionality. One or more metal interconnection layers may also be customizable. Additionally, transistors of the base layer may be customized for speed and/or power consumption by adjusting voltage thresholds and/or gate lengths.
Abstract translation: 集成电路可以包括具有交替的金属互连层和叠加在具有电子部件,功能块或两者的基底层上的通孔层的多层结构。 至少两个通孔层可以是可定制的,并且可以用于形成定制的互连,其可以定制所得到的集成电路的功能。 在一个变型中,至少一些层可以具有可能导致默认集成电路功能的默认结构; 默认结构可能会更改为自定义功能。 一个或多个金属互连层也可以是可定制的。 此外,基层的晶体管可以通过调整电压阈值和/或栅极长度来定制速度和/或功率消耗。
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公开(公告)号:WO2015079648A1
公开(公告)日:2015-06-04
申请号:PCT/JP2014/005771
申请日:2014-11-18
Applicant: パナソニックIPマネジメント株式会社
Inventor: 吉岡 由雅
IPC: H01L23/12 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532
CPC classification number: H01L24/05 , H01L21/7682 , H01L23/3114 , H01L23/3192 , H01L23/525 , H01L24/03 , H01L24/13 , H01L2224/02123 , H01L2224/02125 , H01L2224/02331 , H01L2224/02335 , H01L2224/02351 , H01L2224/024 , H01L2224/0345 , H01L2224/0346 , H01L2224/0391 , H01L2224/05011 , H01L2224/05139 , H01L2224/05144 , H01L2224/05166 , H01L2224/05548 , H01L2224/05567 , H01L2224/05582 , H01L2224/05647 , H01L2224/13014 , H01L2224/13021 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2924/351 , H01L2924/35121 , H01L2924/00014 , H01L2924/00012 , H01L2924/014
Abstract: 有機絶縁膜と金属配線との間のガスによる剥離を抑制して、半導体装置の信頼性を向上できるようにする。 半導体基板(100)の上に形成された第1の金属配線(102)と、第1の金属配線の上に形成された第1の有機絶縁膜(103)と、第1の有機絶縁膜を覆うように形成され、第1の金属配線と接続されるビア(110a)を有する第2の金属配線(110)とを備えている。そして第1の有機絶縁膜の上に形成され、第2の金属配線を露出する開口部(112a)を有する第2の有機絶縁膜(112)とを備えている。さらに第2の金属配線における開口部からの露出部分の上に形成されたバンプ(115)と、半導体基板の主面に沿って形成され、第2の金属配線と接するように形成された隧道部(103a)とを備えている。平面視において、隧道部(103a)は、第2の金属配線と重なるように設けられている。
Abstract translation: 通过抑制由气体引起的有机绝缘膜和金属布线之间的分离,提高半导体器件的可靠性。 该半导体装置设置有形成在半导体基板(100)上的第一金属布线(102)。 第一有机绝缘膜(103),其形成在所述第一金属布线上; 和形成为覆盖第一有机绝缘膜的第二金属布线(110),并具有与第一金属布线连接的通孔(110a)。 该半导体器件还设置有形成在第一有机绝缘膜上并具有露出第二金属布线的开口(112a)的第二有机绝缘膜(112)。 该半导体装置还具备:形成在第二金属配线的一部分上的突起(115),所述部分从开口露出; 以及沿着半导体基板的主表面形成以与第二金属布线接触的通道(103a)。 当在平面图中观察时,隧道(103a)形成为与第二金属布线重叠。
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公开(公告)号:WO2014119045A1
公开(公告)日:2014-08-07
申请号:PCT/JP2013/076771
申请日:2013-10-02
Applicant: 株式会社村田製作所
Inventor: 草地敬治
IPC: H01L21/3205 , H01L21/60 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532
CPC classification number: H01L23/3192 , H01L23/525 , H01L23/564 , H01L24/05 , H01L2224/04042 , H01L2224/05024 , H01L2224/05564 , H01L2224/05568 , H01L2224/05644 , H01L2924/181 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 半導体装置(1)は、半導体基板(11)、配線層(51)、第1の保護膜(62)、絶縁層(41,42)、および第2の保護膜(63)を備える。配線層(51)は、半導体基板(11)上に形成され、ボンディングパッドとして使用される。第1の保護膜(62)は、ボンディングパッドを囲むように半導体基板(11)上に形成され、耐湿性を有する。絶縁層(41,42)は、第1の保護膜(62)上に形成され、吸湿性を有する。第2の保護膜(63)は、ボンディングパッド上と絶縁層(41,42)上と第1の保護膜(62)上とに連続的に形成され、ボンディングパッドの中心部で開口する。第2の保護膜(63)は、耐湿性を有し、第1の保護膜(62)と密着性を有する。ボンディングパッドの側面と絶縁層(41,42)の側面とにより溝部(81,82)が形成され、第1の保護膜(61)と第2の保護膜(62)は、溝部(81,82)の底面で当接する。
Abstract translation: 一种半导体器件(1),包括半导体衬底(11),布线层(51),第一保护膜(62),绝缘层(41,42)和第二保护膜(63)。 布线层(51)形成在半导体基板(11)上,用作接合焊盘。 第一保护膜(62)形成在半导体衬底(11)上以包围焊盘并具有防潮性。 绝缘层(41,42)形成在第一保护膜(62)上并具有吸湿性。 第二保护膜(63)在接合焊盘,绝缘层(41,42)和第一保护膜(62)上连续形成,并且在接合焊盘的中心部分开口。 第二保护膜(63)具有防潮性,并且与第一保护膜(62)具有粘附性。 沟槽部分(81,82)由接合焊盘的侧表面和绝缘层(41,42)的侧表面形成,并且第一保护膜(61)和第二保护膜(62)接触 在凹槽部分(81,82)的底表面处。
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公开(公告)号:WO2013157080A1
公开(公告)日:2013-10-24
申请号:PCT/JP2012/060347
申请日:2012-04-17
CPC classification number: H01L23/3114 , H01L21/561 , H01L21/568 , H01L21/76816 , H01L23/3171 , H01L23/525 , H01L23/5283 , H01L23/5389 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/13 , H01L24/19 , H01L24/48 , H01L24/96 , H01L2224/0235 , H01L2224/02351 , H01L2224/02375 , H01L2224/03462 , H01L2224/03466 , H01L2224/0348 , H01L2224/03602 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/04105 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05548 , H01L2224/05558 , H01L2224/05559 , H01L2224/05567 , H01L2224/05571 , H01L2224/05647 , H01L2224/12105 , H01L2224/13022 , H01L2224/13023 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2224/14135 , H01L2224/451 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/48465 , H01L2224/96 , H01L2924/00014 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2224/03 , H01L2924/014 , H01L2924/00 , H01L2224/05552 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 本発明の半導体装置は、例えば、回路素子を含む基板12と、回路素子に電気的に接続され、基板表面に形成されたチップ取り出し電極18と、チップ取り出し電極を覆うパッシベーション層20と、パッシベーション層20を覆い第1の開口部が形成された絶縁樹脂30と、第1の開口部に形成され、チップ取り出し電極と電気的に接続される金属配線52と、金属配線52の表面に形成される外部端子70とを備える。第1の開口部は、第1の深度を有する第1の領域52Aと、第1の深度よりも浅く感光性絶縁樹脂30を残存させる深度である第2の深度を有する第2の領域52Bを含み、金属配線52は第1及び第2の領域に形成される。
Abstract translation: 该半导体器件具有例如:包括电路元件的衬底(12); 芯片引出电极(18),其电连接到电路元件,并且形成在基板的表面上; 覆盖芯片引出电极的钝化层(20); 绝缘树脂(30),其覆盖所述钝化层(20),并且其中形成有第一开口; 金属布线(52),其形成在第一开口中,并且电连接到芯片引出电极; 和形成在金属布线(52)的表面上的外部端子(70)。 第一开口包括具有第一深度的第一区域(52A)和具有小于第一深度的第二深度的第二区域(52B),并且感光绝缘树脂(30)留在其上, 金属布线(52)形成在第一和第二区域中。
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5.THIN FILM STRUCTURE FOR HIGH DENSITY INDUCTORS AND REDISTRIBUTION IN WAFER LEVEL PACKAGING 审中-公开
Title translation: 用于高密度电感器的薄膜结构和在水平包装中的重新分配公开(公告)号:WO2013023157A2
公开(公告)日:2013-02-14
申请号:PCT/US2012050382
申请日:2012-08-10
Applicant: FLIPCHIP INT LLC , FORCIER ROBERT , SCOTT DOUGLAS
Inventor: FORCIER ROBERT , SCOTT DOUGLAS
CPC classification number: H01L23/5389 , H01L23/5227 , H01L23/525 , H01L23/53223 , H01L24/19 , H01L2223/6677 , H01L2224/12105 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
Abstract: Disclosed is a package that includes a wafer substrate and a metal stack seed layer. The metal stack seed layer includes a titanium thin film outer layer. A resist layer is provided in contact with the titanium thin film outer layer of the metal stack seed layer, the resist layer forming circuitry. A method for manufacturing a package is further disclosed. A metal stack seed layer having a titanium thin film outer layer is formed. A resist layer is formed so as to be in contact with the titanium thin film outer layer of the metal stack seed layer, and circuitry is formed from the resist layer.
Abstract translation: 公开了一种包括晶片衬底和金属堆叠种子层的封装。 金属堆叠种子层包括钛薄膜外层。 提供与金属堆叠种子层的钛薄膜外层,抗蚀剂层形成电路接触的抗蚀剂层。 进一步公开了一种制造封装的方法。 形成具有钛薄膜外层的金属堆叠种子层。 形成抗蚀剂层以与金属堆叠种子层的钛薄膜外层接触,并且由抗蚀剂层形成电路。
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公开(公告)号:WO2011156283A3
公开(公告)日:2012-04-05
申请号:PCT/US2011039304
申请日:2011-06-06
Applicant: GSI GROUP CORP , LAUER WILLIAM , EHRMANN JONATHAN S , GRIFFITHS JOSEPH J
Inventor: LAUER WILLIAM , EHRMANN JONATHAN S , GRIFFITHS JOSEPH J
IPC: B23K26/067 , B23K26/073 , B23K26/38
CPC classification number: B23K26/0676 , B23K26/0006 , B23K26/06 , B23K26/067 , B23K26/36 , B23K2203/56 , H01L21/02686 , H01L21/02691 , H01L23/525 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: In a system for severing conductive links by laser irradiation to repair electronic devices, multiple laser beams are deflected at high-speed to target selected links for processing by positioning laser spots in a two dimensional pattern during relative motion of a substrate and a beam delivery system. As link targeting flexibility is increased, selection may be required from a large number of addressable link pairs. Various embodiments advantageously use beam deflection and beam splitting to improve memory repair processing rates.
Abstract translation: 在用于通过激光照射来切断导电连接以修复电子设备的系统中,多个激光束在基板和光束传送系统的相对运动期间以高速偏转到目标所选择的链接以进行处理,其中定位激光斑点为二维图案 。 随着链路定向灵活性的增加,可能需要从大量可寻址链路对中进行选择。 各种实施例有利地使用光束偏转和光束分割来改善存储器修复处理速率。
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公开(公告)号:WO2011058977A1
公开(公告)日:2011-05-19
申请号:PCT/JP2010/069953
申请日:2010-11-09
Inventor: 奥村 弘守
CPC classification number: H01L24/13 , H01L21/6836 , H01L23/3114 , H01L23/3171 , H01L23/525 , H01L23/552 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/94 , H01L29/0657 , H01L2221/6834 , H01L2224/0231 , H01L2224/0401 , H01L2224/0502 , H01L2224/05099 , H01L2224/05541 , H01L2224/05555 , H01L2224/0556 , H01L2224/05599 , H01L2224/13016 , H01L2224/13027 , H01L2224/13099 , H01L2224/141 , H01L2224/94 , H01L2924/0001 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01019 , H01L2924/01022 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01058 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/10156 , H01L2924/10253 , H01L2924/12044 , H01L2924/3025 , H01L2224/03 , H01L2224/11 , H01L2924/00014 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 本発明の半導体装置は、表面および裏面を有する半導体チップと、前記半導体チップの前記表面上に積層された封止樹脂層と、前記封止樹脂層を厚さ方向に貫通し、前記封止樹脂層の側面と面一をなす側面および前記封止樹脂層の表面と面一をなす先端面を有するポストと、前記ポストの前記先端面に設けられた外部接続端子とを含む。
Abstract translation: 公开了一种半导体器件,其包括:具有前表面和后表面的半导体芯片; 密封树脂层,其层叠在所述半导体芯片的前表面上; 在密封树脂层的厚度方向上通过密封树脂层,并且具有与密封树脂层的侧表面齐平的侧表面和与密封树脂层的前表面齐平的尖端表面的柱; 以及设置在柱的尖端面上的外部连接端子。
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公开(公告)号:WO2010131391A1
公开(公告)日:2010-11-18
申请号:PCT/JP2010/000855
申请日:2010-02-12
Applicant: パナソニック株式会社 , 中野高宏
Inventor: 中野高宏
IPC: H01L21/3205 , H01L23/12 , H01L23/52 , H01L27/14
CPC classification number: H01L23/481 , H01L23/3114 , H01L23/525 , H01L27/14618 , H01L31/022408 , H01L2224/02372 , H01L2224/0401 , H01L2224/05548 , H01L2224/05567 , H01L2224/1132 , H01L2224/13022 , H01L2224/13024 , H01L2224/131 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/014 , H01L2224/05552
Abstract: 本発明の半導体装置は、下面に金属配線(18)を有する半導体基板(11)と、前記半導体基板(11)の上方に形成された複数の配線層とを備える半導体装置であって、前記複数の配線層は、第一配線層(13a)と、前記第一配線層(13a)の上方に形成された第二配線層(13b)とを含み、前記半導体装置はさらに、前記第一配線層(13a)と前記金属配線(18)とを電気的に接続する第一貫通電極(17a)と、前記第二配線層(13b)と前記金属配線(18)とを電気的に接続する第二貫通電極(17b)と、前記半導体基板(11)と前記複数の配線層との間に形成された少なくとも1つの層差調整膜とを備え、前記少なくとも1つの層差調整膜は、前記第二貫通電極(17b)に対応する領域を除く領域に形成されている層差調整膜(14a)を含む。
Abstract translation: 公开了一种半导体器件,其具有在底面具有金属互连件(18)的半导体基板(11)和形成在半导体基板(11)上方的多个互连层,其中,所述多个互连层包括第一互连层 (13a)和形成在所述第一互连层(13a)上方的第二互连层(13b),所述半导体器件还设置有第一通孔电极(17a),所述第一通孔电极将所述第一互连层(13a)和金属互连 (18),电连接第二互连层(13b)和金属互连(18)的第二通孔电极(17b)以及形成在半导体衬底(11)和多个互连层之间的至少一个层差调节膜 ,并且所述至少一层差分调整膜包括形成在除了对应的区域之外的区域处的层差调节膜(14a) 第二通孔电极(17b)。
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公开(公告)号:WO2009145196A1
公开(公告)日:2009-12-03
申请号:PCT/JP2009/059619
申请日:2009-05-26
IPC: H01L23/12 , H01L21/60 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18
CPC classification number: H01L23/498 , H01L21/563 , H01L23/3114 , H01L23/3128 , H01L23/525 , H01L24/05 , H01L24/12 , H01L24/16 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L25/0657 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/05552 , H01L2224/05567 , H01L2224/13021 , H01L2224/16145 , H01L2224/16237 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/45144 , H01L2224/48227 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2224/73265 , H01L2225/0651 , H01L2225/06517 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01007 , H01L2924/01013 , H01L2924/01018 , H01L2924/01024 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01322 , H01L2924/01327 , H01L2924/014 , H01L2924/12041 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00 , H01L2224/16225 , H01L2924/00012 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: はんだバンプを有する薄型の半導体チップで、配線形状が電極毎に様々異なる場合でも、短時間に高歩留りで熱圧着し、高信頼な接続部を形成することを目的とした半導体装置を提供する。半導体チップ10において、半導体基板上の素子形成層に形成された回路に接続する複数の電極のうちの引き出し配線のない電極15には、電極に形成されるはんだバンプ22の溶融状態を均一にするためのダミー配線17が接続され、このダミー配線17は再配線層21によって形成されている。このように、半導体チップ10上のはんだバンプ22間の温度分布をなくすため、必要に応じて電極からダミー配線17を引き出し、半導体チップ10内の電極間の熱の均一性を図る。また、上記半導体チップに対応する基板にも、熱分布に応じてダミーの配線、スルーホールを形成し、電極間の熱分布を低減した構造とする。
Abstract translation: 提供一种半导体器件,其中通过以高产率在短时间内进行热压接而形成高度可靠的连接部分,即使在具有焊料凸块的薄半导体芯片中,布线形状也由电极变化。 在半导体芯片(10)中,连接到形成在半导体衬底上的元件形成层上的电路的多个电极中,连接到不具有引出布线的电极(15),连接虚拟布线(17)以使熔体均匀化 形成在电极上的焊料凸块(22)的状态,虚拟布线(17)由重新布线层(21)形成。 根据需要,从电极提取虚拟布线(17),以消除半导体芯片(10)上的焊料凸块(22)之间的温度分布,使半导体芯片(10)中的电极之间的热量均匀化。 此外,在对应于半导体芯片的基板上,对应于热分布形成虚设布线和通孔,并且提供在电极之间具有降低的热分布的结构。
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公开(公告)号:WO2009013826A1
公开(公告)日:2009-01-29
申请号:PCT/JP2007/064601
申请日:2007-07-25
Applicant: 富士通マイクロエレクトロニクス株式会社 , 松木 浩久 , 今村 和之
CPC classification number: H01L23/49816 , H01L23/3128 , H01L23/3171 , H01L23/3192 , H01L23/49894 , H01L23/525 , H01L24/05 , H01L24/11 , H01L24/12 , H01L2224/0231 , H01L2224/03912 , H01L2224/0401 , H01L2224/05557 , H01L2224/05599 , H01L2224/114 , H01L2224/1147 , H01L2224/116 , H01L2224/13099 , H01L2224/131 , H01L2224/16 , H01L2224/73204 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01014 , H01L2924/01019 , H01L2924/01022 , H01L2924/01024 , H01L2924/01028 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/05042 , H01L2924/12044 , H01L2924/14 , H01L2924/15311 , H01L2924/30105
Abstract: 半導体素子(100)における絶縁層上に配設された複数の電極パッド(47)と、一端が前記電極パッド(47)の表出部に接続され、前記電極パッド(47)毎に前記絶縁層上に延在して配設された複数の導電層(51)と、前記導電層(51)の他端に配設された突起電極(52)と、を備え、前記導電層(51)の延在する方向は、前記電極パッド(47)に対して一定の方向に延在していることを特徴とする半導体装置。
Abstract translation: 一种半导体器件,包括布置在半导体元件(100)中的绝缘层上的电极焊盘(47),每个导体层(51)的一端连接到电极焊盘(47)的暴露部分,并布置成延伸到绝缘层 每个电极焊盘(47)和每个布置在导电层(51)的另一端的突出电极(52)的特征在于,导电层(51)相对于电极在给定方向上延伸 垫(47)。
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