薄膜配線基板およびプローブカード用基板
    2.
    发明申请
    薄膜配線基板およびプローブカード用基板 审中-公开
    薄膜接线基板和探针卡基板

    公开(公告)号:WO2013031822A1

    公开(公告)日:2013-03-07

    申请号:PCT/JP2012/071816

    申请日:2012-08-29

    Inventor: 橋本 利弘

    Abstract:  上面を有するセラミック基板1およびセラミック基板の上面に設けられた配線導体11を含むベースBと、セラミック基板1の上面に順次積層された接合層2および薄膜配線層3と、接合層2を厚み方向に貫通しているとともに配線導体11と薄膜配線層3とを電気的に接続している貫通導体23とを有しており、接合層2は、熱硬化性樹脂からなるコア層21と、コア層21を形成する熱硬化性樹脂よりも弾性率が小さい熱硬化性樹脂からなる、コア層21の上下面に積層された接着層22とを含んでいる薄膜配線基板である。コア層21によって接合層2の変形を抑制することができ、貫通導体23と薄膜導体層31および配線導体11との電気的な接続を良好に確保できる。また、接着層22により接合層2の接着性を確保できる。

    Abstract translation: 薄膜配线基板具有包括具有顶面的陶瓷基板(1)和设置在陶瓷基板的顶面的配线导体(11)的基体(B),接合层(2)和薄层 连续地层叠在陶瓷基板(1)的上表面的通孔布线层(3)和将布线导体(11)和薄膜布线层(3)电穿孔的通孔导体(23) 接合层(2)在厚度方向上。 接合层(2)是由由热硬化树脂构成的芯层(21)和粘合层(22)构成的薄膜布线基板,所述粘合层由具有较小的弹性系数的热硬化树脂构成 所述加热硬化树脂形成所述芯层(21),并且层压在所述芯层(21)的上表面和下表面上。 芯层(21)可以抑制粘合层(2)的变形。 可以确保贯通导体(23)和薄膜导体层(31)与布线导体(11)的良好电连接。 此外,可以通过粘合剂层(22)确保接合层(2)的粘合性。

    SYSTEM FOR AND METHOD OF FORMING VIA HOLES BY MULTIPLE DEPOSITION EVENTS IN A CONTINUOUS INLINE SHADOW MASK DEPOSITION PROCESS
    4.
    发明申请
    SYSTEM FOR AND METHOD OF FORMING VIA HOLES BY MULTIPLE DEPOSITION EVENTS IN A CONTINUOUS INLINE SHADOW MASK DEPOSITION PROCESS 审中-公开
    在连续的阴影掩模沉积过程中通过多次沉积事件形成孔的系统和方法

    公开(公告)号:WO2006071671A2

    公开(公告)日:2006-07-06

    申请号:PCT/US2005046348

    申请日:2005-12-20

    Abstract: Via holes are formed in a continuous inline shadow mask production system by depositing a first conductor layer and subsequently depositing a first insulator layer over a portion of the first conductor layer. The first insulator layer is deposited in a manner to define at least one notch along its edge. The second insulator layer is then deposited on another portion of the first conductor layer in a manner whereupon the second insulator layer slightly overlaps each notch of the first insulator layer, thereby forming the one or more via holes. A conductive filler can optionally be deposited in each via hole. Lastly, a second conductive layer can be deposited over the first insulator layer, the second insulator layer and, if provided, the conductive filler.

    Abstract translation: 通过沉积第一导体层并随后在第一导体层的一部分上沉积第一绝缘体层,在连续的在线荫罩制备系统中形成通孔。 以沿其边缘限定至少一个凹口的方式沉积第一绝缘体层。 然后以第二绝缘体层与第一绝缘体层的每个凹口稍微重叠的方式将第二绝缘体层沉积在第一导体层的另一部分上,从而形成一个或多个通孔。 可以任选地在每个通孔中沉积导电填料。 最后,第二导电层可以沉积在第一绝缘体层,第二绝缘体层上,如果提供,则沉积在导电填料上。

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