公开(公告)号：US08158497B2

公开(公告)日：2012-04-17

申请号：US12140096

申请日：2008-06-16

申请人： Asako Hirai ,  Zhongyuan Jia ,  Makoto Saito ,  Hisashi Yamada ,  Kenji Iso ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura ,  James S. Speck

发明人： Asako Hirai ,  Zhongyuan Jia ,  Makoto Saito ,  Hisashi Yamada ,  Kenji Iso ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura ,  James S. Speck

IPC分类号： H01L21/20

CPC分类号： C30B29/406 ,  C30B23/025 ,  C30B23/066 ,  C30B25/18 ,  C30B25/186 ,  C30B25/20 ,  C30B29/403 ,  C30B29/60 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02636 ,  H01L29/04 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/26 ,  H01L31/03044 ,  H01L31/036 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32 ,  H01S5/34333 ,  Y10T428/24612

摘要： A nonpolar III-nitride film grown on a miscut angle of a substrate, in order to suppress the surface undulations, is provided. The surface morphology of the film is improved with a miscut angle towards an a-axis direction comprising a 0.15° or greater miscut angle towards the a-axis direction and a less than 30° miscut angle towards the a-axis direction.

摘要翻译： 提供了为了抑制表面波动而在衬底的错误角度上生长的非极性III族氮化物膜。 膜的表面形态通过朝向a轴方向的误差角而改进，包括朝向a轴方向的0.15°或更大的误差角和朝向a轴方向的小于30°的倾斜角。

公开(公告)号：US20120086106A1

公开(公告)日：2012-04-12

申请号：US13327521

申请日：2011-12-15

申请人： Asako Hirai ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

发明人： Asako Hirai ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L29/20 ,  H01L21/20

CPC分类号： C30B33/00 ,  C30B29/403 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/2003

摘要： A method for fabricating a high quality freestanding nonpolar and semipolar nitride substrate with increased surface area, comprising stacking multiple films by growing the films one on top of each other with different and non-orthogonal growth directions.

摘要翻译： 一种用于制造具有增加的表面积的高质量独立非极性和半极性氮化物衬底的方法，包括通过用不同的和非正交的生长方向将膜形成在一个层叠上来堆叠多个膜。

公开(公告)号：US08124991B2

公开(公告)日：2012-02-28

申请号：US12181100

申请日：2008-07-28

申请人： Kenji Iso ,  Hirokuni Asamizu ,  Makoto Saito ,  Hitoshi Sato ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

发明人： Kenji Iso ,  Hirokuni Asamizu ,  Makoto Saito ,  Hitoshi Sato ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L33/00

CPC分类号： H01L33/0079 ,  H01L33/145 ,  H01L33/62 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： An (Al,Ga,In)N-based light emitting diode (LED), comprising a p-type surface of the LED bonded with a transparent submount material to increase light extraction at the p-type surface, wherein the LED is a substrateless membrane.

摘要翻译： 一种（Al，Ga，In）N基发光二极管（LED），包括与透明底层材料结合的LED的p型表面，以增加p型表面的光提取，其中LED是无基底 膜。

公开(公告)号：US08114698B2

公开(公告)日：2012-02-14

申请号：US12325946

申请日：2008-12-01

申请人： Hong Zhong ,  Anurag Tyagi ,  Kenneth J. Vampola ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

发明人： Hong Zhong ,  Anurag Tyagi ,  Kenneth J. Vampola ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L33/22 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/10 ,  H01L33/18 ,  H01L33/20 ,  H01L33/32 ,  H01L2933/0083

摘要： A III-nitride light emitting diode (LED) and method of fabricating the same, wherein at least one surface of a semipolar or nonpolar plane of a III-nitride layer of the LED is textured, thereby forming a textured surface in order to increase light extraction. The texturing may be performed by plasma assisted chemical etching, photolithography followed by etching, or nano-imprinting followed by etching.

摘要翻译： III族氮化物发光二极管（LED）及其制造方法，其中LED的III族氮化物层的半极性或非极性面的至少一个表面被纹理化，从而形成纹理表面以增加光 萃取。 纹理可以通过等离子体辅助化学蚀刻，光刻，然后进行蚀刻或纳米压印，然后蚀刻来进行。

公开(公告)号：US08097481B2

公开(公告)日：2012-01-17

申请号：US11870115

申请日：2007-10-10

申请人： Bilge M. Imer ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

发明人： Bilge M. Imer ,  James S. Speck ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： H01L21/02658 ,  C30B25/02 ,  C30B25/18 ,  C30B29/403 ,  C30B29/406 ,  H01L21/02378 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/02516 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/0262

摘要： A method of growing non-polar m-plane III-nitride film, such as GaN, AlN, AlGaN or InGaN, wherein the non-polar m-plane III-nitride film is grown on a suitable substrate, such as an m-SiC, m-GaN, LiGaO2 or LiAlO2 substrate, using metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD). The method includes performing a solvent clean and acid dip of the substrate to remove oxide from the surface, annealing the substrate, growing a nucleation layer, such as aluminum nitride (AlN), on the annealed substrate, and growing the non-polar m-plane III-nitride film on the nucleation layer using MOCVD.

摘要翻译： 生长非极性m面III族氮化物膜的方法，例如GaN，AlN，AlGaN或InGaN，其中非极性m面III族氮化物膜在合适的衬底上生长，例如m-SiC ，m-GaN，LiGaO2或LiAlO2基板，使用金属有机化学气相沉积（MOCVD）。 该方法包括进行溶剂清洁和浸渍基底以从表面除去氧化物，退火基底，在退火的基底上生长诸如氮化铝（AlN）的成核层，以及生长非极性m- 使用MOCVD在成核层上的III型氮化物膜。

公开(公告)号：US20110204329A1

公开(公告)日：2011-08-25

申请号：US13099834

申请日：2011-05-03

申请人： Michael D. Craven ,  Stacia Keller ,  Steven P. DenBaars ,  Tal Margalith ,  James Stephen Speck ,  Shuji Nakamura ,  Umesh K. Mishra

发明人： Michael D. Craven ,  Stacia Keller ,  Steven P. DenBaars ,  Tal Margalith ,  James Stephen Speck ,  Shuji Nakamura ,  Umesh K. Mishra

IPC分类号： H01L29/15

CPC分类号： C30B29/403 ,  C30B25/02 ,  C30B25/04 ,  C30B25/105 ,  C30B25/18 ,  C30B29/406 ,  C30B29/605 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/02647

摘要： A method for forming non-polar (Al,B,In,Ga)N quantum well and heterostructure materials and devices. Non-polar (11 20) a-plane GaN layers are grown on an r-plane (1 102) sapphire substrate using MOCVD. These non-polar (11 20) a-plane GaN layers comprise templates for producing non-polar (Al,B,In,Ga)N quantum well and heterostructure materials and devices.

摘要翻译： 一种形成非极性（Al，B，In，Ga）N量子阱和异质结构材料和器件的方法。 使用MOCVD在非平面（1120）蓝宝石衬底上生长非极性（11 20）a面GaN层。 这些非极性（11 20）a面GaN层包括用于产生非极性（Al，B，In，Ga）N量子阱和异质结构材料和器件的模板。

公开(公告)号：US20110062449A1

公开(公告)日：2011-03-17

申请号：US12953029

申请日：2010-11-23

申请人： Robert M. Farrell, JR. ,  Troy J. Baker ,  Arpan Chakraborty ,  Benjamin A. Haskell ,  P. Morgan Pattison ,  Rajat Sharma ,  Umesh Kumar Mishra ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

发明人： Robert M. Farrell, JR. ,  Troy J. Baker ,  Arpan Chakraborty ,  Benjamin A. Haskell ,  P. Morgan Pattison ,  Rajat Sharma ,  Umesh Kumar Mishra ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L33/30 ,  H01L21/20

CPC分类号： H01L33/16 ,  B82Y20/00 ,  C30B23/025 ,  C30B25/18 ,  C30B29/403 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02609 ,  H01L33/0004 ,  H01L33/0062 ,  H01L33/007 ,  H01L33/02 ,  H01S5/0422 ,  H01S5/2201 ,  H01S5/3202 ,  H01S5/34333 ,  H01S2304/04

摘要： A method for growth and fabrication of semipolar (Ga, Al, In, B)N thin films, heterostructures, and devices, comprising identifying desired material properties for a particular device application, selecting a semipolar growth orientation based on the desired material properties, selecting a suitable substrate for growth of the selected semipolar growth orientation, growing a planar semipolar (Ga, Al, In, B)N template or nucleation layer on the substrate, and growing the semipolar (Ga, Al, In, B)N thin films, heterostructures or devices on the planar semipolar (Ga, Al, In, B)N template or nucleation layer. The method results in a large area of the semipolar (Ga, Al, In, B)N thin films, heterostructures, and devices being parallel to the substrate surface.

摘要翻译： 一种用于生长和制造半极性（Ga，Al，In，B）N薄膜，异质结构和器件的方法，包括鉴定特定器件应用的所需材料性质，基于所需材料性质选择半极性生长取向，选择 用于生长选择的半极性生长取向的合适底物，在衬底上生长平面半极性（Ga，Al，In，B）N模板或成核层，以及生长半极（Ga，Al，In，B）N薄膜 ，平面半极性（Ga，Al，In，B）N模板或成核层上的异质结构或器件。 该方法导致大面积的半极性（Ga，Al，In，B）N薄膜，异质结构和器件平行于衬底表面。

公开(公告)号：US20110007766A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：US12833607

申请日：2010-07-09

申请人： Robert M. Farrell ,  Matthew T. Hardy ,  Hiroaki Ohta ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

发明人： Robert M. Farrell ,  Matthew T. Hardy ,  Hiroaki Ohta ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01S5/343 ,  H01S5/34 ,  H01L33/04 ,  H01L33/30

CPC分类号： H01S5/34333 ,  B82Y20/00 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32 ,  H01S5/0202 ,  H01S5/2018 ,  H01S5/2031

摘要： A structure for improving the mirror facet cleaving yield of (Ga,Al,In,B)N laser diodes grown on nonpolar or semipolar (Ga,Al,In,B)N substrates. The structure comprises a nonpolar or semipolar (Ga,Al,In,B)N laser diode including a waveguide core that provides sufficient optical confinement for the device's operation in the absence of p-type doped aluminum-containing waveguide cladding layers, and one of more n-type doped aluminum-containing layers that can be used to assist with facet cleaving along a particular crystallographic plane.

摘要翻译： 用于改善生长在非极性或半极性（Ga，Al，In，B）N衬底上的（Ga，Al，In，B）N激光二极管的镜面切割产率的结构。 该结构包括非极性或半极性（Ga，Al，In，B）N激光二极管，其包括波导芯，其在不存在p型掺杂的含铝波导覆层的情况下为器件的工作提供足够的光学限制，并且 更多n型掺杂的含铝层，可用于辅助沿着特定结晶平面的切面。

公开(公告)号：US07868341B2

公开(公告)日：2011-01-11

申请号：US12163510

申请日：2008-06-27

申请人： Frederic S. Diana ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

发明人： Frederic S. Diana ,  Steven P. DenBaars ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L33/00

CPC分类号： H01L33/60 ,  F21K9/64 ,  H01L33/32 ,  H01L33/46 ,  H01L33/483 ,  H01L33/50 ,  H01L33/504 ,  H01L33/505 ,  H01L33/507 ,  H01L33/58 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/19107 ,  H01L2933/0041 ,  H01L2933/0058 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

摘要： A method for increasing the luminous efficacy of a white light emitting diode (WLED), comprising introducing optically functional interfaces between an LED die and a phosphor, and between the phosphor and an outer medium, wherein at least one of the interfaces between the phosphor and the LED die provides a reflectance for light emitted by the phosphor away from the outer medium and a transmittance for light emitted by the LED die. Thus, a WLED may comprise a first material which surrounds an LED die, a phosphor layer, and at least one additional layer or material which is transparent for direct LED emission and reflective for the phosphor emission, placed between the phosphor layer and the first material which surrounds the LED die.

摘要翻译： 一种用于增加白光发光二极管（WLED）的发光效率的方法，包括在LED管芯和荧光体之间以及在所述荧光体和外部介质之间引入光学功能界面，其中所述荧光体和 LED管芯提供对由荧光体远离外部介质发出的光的反射率以及由LED管芯发射的光的透射率。 因此，WLED可以包括围绕LED管芯，荧光体层以及放置在荧光体层和第一材料之间的用于直接LED发射和反射用于荧光体发射的透明的至少一个附加层或材料的第一材料 其围绕LED管芯。

公开(公告)号：US07846757B2

公开(公告)日：2010-12-07

申请号：US11444946

申请日：2006-06-01

申请人： Robert M. Farrell, Jr. ,  Troy J. Baker ,  Arpan Chakraborty ,  Benjamin A. Haskell ,  P. Morgan Pattison ,  Rajat Sharma ,  Umesh Kumar Mishra ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

发明人： Robert M. Farrell, Jr. ,  Troy J. Baker ,  Arpan Chakraborty ,  Benjamin A. Haskell ,  P. Morgan Pattison ,  Rajat Sharma ,  Umesh Kumar Mishra ,  Steven P. DenBaars ,  James S. Speck ,  Shuji Nakamura

IPC分类号： H01L33/00 ,  H01L27/15

CPC分类号： H01L33/16 ,  B82Y20/00 ,  C30B23/025 ,  C30B25/18 ,  C30B29/403 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02609 ,  H01L33/0004 ,  H01L33/0062 ,  H01L33/007 ,  H01L33/02 ,  H01S5/0422 ,  H01S5/2201 ,  H01S5/3202 ,  H01S5/34333 ,  H01S2304/04

摘要： A method for growth and fabrication of semipolar (Ga,Al,In,B)N thin films, heterostructures, and devices, comprising identifying desired material properties for a particular device application, selecting a semipolar growth orientation based on the desired material properties, selecting a suitable substrate for growth of the selected semipolar growth orientation, growing a planar semipolar (Ga,Al,In,B)N template or nucleation layer on the substrate, and growing the semipolar (Ga,Al,In,B)N thin films, heterostructures or devices on the planar semipolar (Ga,Al,In,B)N template or nucleation layer. The method results in a large area of the semipolar (Ga,Al,In,B)N thin films, heterostructures, and devices being parallel to the substrate surface.

摘要翻译： 一种用于生长和制造半极性（Ga，Al，In，B）N薄膜，异质结构和器件的方法，包括鉴定特定器件应用的所需材料性质，基于所需材料性质选择半极性生长取向，选择 用于生长选择的半极性生长取向的合适底物，在衬底上生长平面半极性（Ga，Al，In，B）N模板或成核层，以及生长半极（Ga，Al，In，B）N薄膜 ，平面半极性（Ga，Al，In，B）N模板或成核层上的异质结构或器件。 该方法导致大面积的半极性（Ga，Al，In，B）N薄膜，异质结构和器件平行于衬底表面。