公开(公告)号：US08072071B2

公开(公告)日：2011-12-06

申请号：US12389103

申请日：2009-02-19

申请人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Markus Brunnbauer ,  Gottfried Beer

发明人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Markus Brunnbauer ,  Gottfried Beer

IPC分类号： H01L23/498

CPC分类号： H01L23/528 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L23/5283 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2224/02351 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03622 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/05006 ,  H01L2224/05012 ,  H01L2224/05017 ,  H01L2224/05546 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05553 ,  H01L2224/05555 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/05559 ,  H01L2224/05567 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor device includes a chip comprising a contact element, a structured dielectric layer over the chip, and a conductive element coupled to the contact element. The conductive element comprises a first portion embedded in the structured dielectric layer, a second portion at least partially spaced apart from the first portion and embedded in the structured dielectric layer, and a third portion contacting a top of the structured dielectric layer and extending at least vertically over the first portion and the second portion.

摘要翻译： 半导体器件包括芯片，其包括接触元件，芯片上方的结构化介电层以及耦合到接触元件的导电元件。 导电元件包括​​嵌入结构化电介质层中的第一部分，与第一部分至少部分间隔开并嵌入结构化介电层的第二部分，以及接触结构化介电层顶部并至少延伸的第三部分 垂直于第一部分和第二部分。

公开(公告)号：US20110291256A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US12791443

申请日：2010-06-01

申请人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Gottfried Beer

发明人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Gottfried Beer

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L21/50

CPC分类号： H01L24/03 ,  H01L23/3114 ,  H01L24/05 ,  H01L24/96 ,  H01L2224/0332 ,  H01L2224/0345 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/05001 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05546 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01059 ,  H01L2924/01068 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/18162 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor chip includes a contact pad on a main surface of the chip. An electrically conductive layer is applied onto the contact pad. The main surface of the semiconductor chip is covered with an insulating layer. An electrically conductive contact area is formed within the insulating layer such that the contact area and the insulating layer include coplanar exposed surfaces and the contact area is electrically connected with the electrically conductive layer and includes an extension which is greater than the extension of the electrically conductive layer along a direction parallel to the main surface of the semiconductor chip.

摘要翻译： 半导体芯片包括在芯片的主表面上的接触焊盘。 将导电层施加到接触垫上。 半导体芯片的主表面被绝缘层覆盖。 导电接触区域形成在绝缘层内，使得接触区域和绝缘层包括共面的暴露表面，并且接触区域与导电层电连接，并且包括延伸部，其延伸大于导电 层沿着与半导体芯片的主表面平行的方向。

公开(公告)号：US20100207272A1

公开(公告)日：2010-08-19

申请号：US12389103

申请日：2009-02-19

申请人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Markus Brunnbauer ,  Gottfried Beer

发明人： Rainer Steiner ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Markus Brunnbauer ,  Gottfried Beer

IPC分类号： H01L23/498 ,  H01L21/768

CPC分类号： H01L23/528 ,  H01L21/561 ,  H01L21/568 ,  H01L23/5283 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/13 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2224/02351 ,  H01L2224/03462 ,  H01L2224/0361 ,  H01L2224/03622 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/05006 ,  H01L2224/05012 ,  H01L2224/05017 ,  H01L2224/05546 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05553 ,  H01L2224/05555 ,  H01L2224/05557 ,  H01L2224/05559 ,  H01L2224/05567 ,  H01L2224/05568 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/12105 ,  H01L2224/13023 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2224/83 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/00

摘要： A semiconductor device includes a chip comprising a contact element, a structured dielectric layer over the chip, and a conductive element coupled to the contact element. The conductive element comprises a first portion embedded in the structured dielectric layer, a second portion at least partially spaced apart from the first portion and embedded in the structured dielectric layer, and a third portion contacting a top of the structured dielectric layer and extending at least vertically over the first portion and the second portion.

摘要翻译： 半导体器件包括芯片，其包括接触元件，芯片上方的结构化介电层以及耦合到接触元件的导电元件。 导电元件包括​​嵌入结构化电介质层中的第一部分，与第一部分至少部分间隔开并嵌入结构化介电层的第二部分，以及接触结构化介电层顶部并至少延伸的第三部分 垂直于第一部分和第二部分。

公开(公告)号：US08330274B2

公开(公告)日：2012-12-11

申请号：US12893009

申请日：2010-09-29

申请人： Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Joern Plagmann ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Rainer Steiner ,  Mathias Vaupel

发明人： Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Joern Plagmann ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Rainer Steiner ,  Mathias Vaupel

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L21/76843 ,  H01L21/76807 ,  H01L21/76879 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/53223 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/53252 ,  H01L23/53266 ,  H01L24/03 ,  H01L24/10 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/13 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01037 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/0106 ,  H01L2924/01068 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/00

摘要： One or more embodiments relate to a method of forming a semiconductor structure, comprising: providing a workpiece; forming a barrier layer over the workpiece; forming a seed layer over the barrier layer; forming an inhibitor layer over the seed layer; removing a portion of said inhibitor layer to expose a portion of the seed layer; and selectively depositing a fill layer on the exposed seed layer.

摘要翻译： 一个或多个实施例涉及一种形成半导体结构的方法，包括：提供工件; 在工件上形成阻挡层; 在阻挡层上形成种子层; 在种子层上形成抑制层; 去除所述抑制剂层的一部分以暴露所述种子层的一部分; 并且在曝光的种子层上选择性地沉积填充层。

公开(公告)号：US08148257B1

公开(公告)日：2012-04-03

申请号：US12894190

申请日：2010-09-30

申请人： Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Joern Plagmann ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Rainer Steiner ,  Mathias Vaupel

发明人： Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Joern Plagmann ,  Jens Pohl ,  Werner Robl ,  Rainer Steiner ,  Mathias Vaupel

IPC分类号： H01L21/44 ,  H01L21/4763 ,  H01L21/469

CPC分类号： H01L23/53238 ,  H01L21/76846 ,  H01L21/76865 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/53223 ,  H01L23/53252 ,  H01L23/53266 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： One or more embodiments relate to a method of forming an electronic device, comprising: providing a workpiece; forming a first barrier layer over the workpiece; forming an intermediate conductive layer over the first barrier layer; forming a second barrier layer over the intermediate conductive layer; forming a seed layer over the second barrier layer; removing a portion of the seed layer to leave a remaining portion of the seed layer and to expose a portion of the second barrier layer; and electroplating a fill layer on the remaining portion of the seed layer.

摘要翻译： 一个或多个实施例涉及一种形成电子设备的方法，包括：提供工件; 在工件上形成第一阻挡层; 在所述第一阻挡层上形成中间导电层; 在所述中间导电层上形成第二阻挡层; 在所述第二阻挡层上形成种子层; 去除种子层的一部分以留下种子层的剩余部分并暴露第二阻挡层的一部分; 并在种子层的剩余部分上电镀填充层。

公开(公告)号：US20110101532A1

公开(公告)日：2011-05-05

申请号：US12611609

申请日：2009-11-03

申请人： Jens Pohl ,  Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Rainer Steiner ,  Werner Robl ,  Mathias Vaupel

发明人： Jens Pohl ,  Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Rainer Steiner ,  Werner Robl ,  Mathias Vaupel

IPC分类号： H01L23/48 ,  H05K1/00 ,  C25D5/00 ,  C25D5/34

CPC分类号： H01L23/5389 ,  H01L21/486 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/82 ,  H01L24/97 ,  H01L2221/1089 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/82 ,  H01L2924/00

摘要： A method for fabricating a device includes providing a substrate including at least one contact and applying a dielectric layer over the substrate. The method includes applying a first seed layer over the dielectric layer, applying an inert layer over the seed layer, and structuring the inert layer, the first seed layer, and the dielectric layer to expose at least a portion of the contact. The method includes applying a second seed layer over exposed portions of the structured dielectric layer and the contact such that the second seed layer makes electrical contact with the structured first seed layer. The method includes electroplating a metal on the second seed layer.

摘要翻译： 一种用于制造器件的方法包括提供包括至少一个接触的衬底并在衬底上施加电介质层。 该方法包括在电介质层上施加第一种子层，在种子层上施加惰性层，以及构造惰性层，第一籽晶层和电介质层以暴露至少一部分接触。 该方法包括在结构化介电层和触点的暴露部分上施加第二种子层，使得第二籽晶层与结构化的第一籽晶层电接触。 该方法包括在第二种子层上电镀金属。

公开(公告)号：US08334202B2

公开(公告)日：2012-12-18

申请号：US12611609

申请日：2009-11-03

申请人： Jens Pohl ,  Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Rainer Steiner ,  Werner Robl ,  Mathias Vaupel

发明人： Jens Pohl ,  Hans-Joachim Barth ,  Gottfried Beer ,  Rainer Steiner ,  Werner Robl ,  Mathias Vaupel

IPC分类号： H01L23/48

CPC分类号： H01L23/5389 ,  H01L21/486 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/49822 ,  H01L23/49827 ,  H01L24/82 ,  H01L24/97 ,  H01L2221/1089 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/181 ,  H01L2224/82 ,  H01L2924/00

摘要： A method for fabricating a device includes providing a substrate including at least one contact and applying a dielectric layer over the substrate. The method includes applying a first seed layer over the dielectric layer, applying an inert layer over the seed layer, and structuring the inert layer, the first seed layer, and the dielectric layer to expose at least a portion of the contact. The method includes applying a second seed layer over exposed portions of the structured dielectric layer and the contact such that the second seed layer makes electrical contact with the structured first seed layer. The method includes electroplating a metal on the second seed layer.

摘要翻译： 一种用于制造器件的方法包括提供包括至少一个接触的衬底并在衬底上施加电介质层。 该方法包括在电介质层上施加第一种子层，在种子层上施加惰性层，以及构造惰性层，第一种子层和电介质层以暴露至少一部分接触。 该方法包括在结构化介电层和触点的暴露部分上施加第二种子层，使得第二籽晶层与结构化的第一籽晶层电接触。 该方法包括在第二种子层上电镀金属。

公开(公告)号：US08889548B2

公开(公告)日：2014-11-18

申请号：US13084105

申请日：2011-04-11

申请人： Hans-Joachim Barth ,  Jens Pohl ,  Gottfried Beer ,  Heinrich Koerner

发明人： Hans-Joachim Barth ,  Jens Pohl ,  Gottfried Beer ,  Heinrich Koerner

IPC分类号： H01L29/72 ,  H01L23/552 ,  H01L21/768 ,  H01L23/48 ,  H01L23/66

CPC分类号： H01L21/76898 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/308 ,  H01L21/76879 ,  H01L23/481 ,  H01L23/552 ,  H01L23/66 ,  H01L2223/6688 ,  H01L2224/02372 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05008 ,  H01L2224/05569 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/05552

摘要： Structures of a system on chip and methods of forming a system on chip are disclosed. In one embodiment, a method of fabricating the system on chip includes forming a through substrate opening from a back surface of a substrate, the through substrate opening disposed between a first and a second region, the first region comprising devices for RF circuitry and the second region comprising devices for other circuitry. The method further includes forming patterns for redistribution lines on a photo resist layer, the photo resist layer disposed under the back surface, and filling the through substrate opening and the patterns for redistribution lines with a conductive material.

摘要翻译： 公开了一种片上系统的结构以及片上系统的形成方法。 在一个实施例中，一种制造片上系统的方法包括从衬底的背面形成穿透衬底开口，穿过衬底开口设置在第一和第二区域之间，第一区域包括用于RF电路的装置，第二区域包括第二 区域包括用于其他电路的装置。 该方法还包括在光致抗蚀剂层上形成用于再分配线的图案，设置在背面下方的光致抗蚀剂层，以及用导电材料填充贯通基板开口和再分布线图案。

公开(公告)号：US20060189124A1

公开(公告)日：2006-08-24

申请号：US11350287

申请日：2006-02-09

申请人： Gottfried Beer ,  Jens Pohl

发明人： Gottfried Beer ,  Jens Pohl

IPC分类号： H01L21/4763 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L25/105 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/0557 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2225/1023 ,  H01L2225/1058 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

摘要： A semiconductor device includes a housing composition and a through contact extending through the housing composition. The through contact is provided in a contact hole formed through the housing composition and having an asymmetrical funnel form with at least two opposite inner wall sides oriented substantially perpendicular to the top side of the housing and a further inner wall side inclined in such a way that the contact hole has an elongated-hole cross section at the top side of the housing. In the region of the contact pad, the contact hole has a cross section adapted to the contact pad. The through contact includes a contact-making conductor track that extends from the top side of the housing along the inclined fourth inner wall side to the contact pad.

摘要翻译： 半导体器件包括壳体组合物和延伸穿过壳体组合物的通孔。 通孔形成在通过壳体组合物形成的接触孔中并且具有不对称的漏斗形式，其具有至少两个相对的内壁侧，该至少两个相对的内壁侧基本上垂直于壳体的顶侧定向，另外的内壁侧以如下方式倾斜： 接触孔在壳体的顶侧具有细长孔横截面。 在接触垫的区域中，接触孔具有适于接触垫的横截面。 通孔包括从壳体的顶侧沿着倾斜的第四内壁侧延伸到接触垫的接触导体轨迹。

公开(公告)号：US08169059B2

公开(公告)日：2012-05-01

申请号：US12242521

申请日：2008-09-30

申请人： Hans-Joachim Barth ,  Jens Pohl ,  Gottfried Beer ,  Oliver Nagy

发明人： Hans-Joachim Barth ,  Jens Pohl ,  Gottfried Beer ,  Oliver Nagy

IPC分类号： H01L23/552

CPC分类号： H01L21/76898 ,  H01L23/481 ,  H01L23/552 ,  H01L23/585 ,  H01L23/66 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： Structures of a system on chip and methods of forming a system on chip are disclosed. In one embodiment, the system on a chip includes an RF component disposed on a first part of a substrate, a semiconductor component disposed on a second part of the substrate, the semiconductor component and the RF component sharing a common boundary. The system on chip further includes through substrate conductors disposed in the substrate, the through substrate conductors coupled to a ground potential node, the through substrate conductors disposed around the RF component forming a fence around the RF circuit.

摘要翻译： 公开了一种片上系统的结构以及片上系统的形成方法。 在一个实施例中，芯片上的系统包括设置在基板的第一部分上的RF部件，设置在基板的第二部分上的半导体部件，共享公共边界的半导体部件和RF部件。 芯片上的系统还包括通过设置在基板中的基板导体，连接到地电位节点的贯穿基板导体，围绕RF元件设置的贯穿基板导体，围绕RF电路形成围栏。