接合装置
    43.
    发明申请
    接合装置 审中-公开
    绑定装置

    公开(公告)号:WO2007043254A1

    公开(公告)日:2007-04-19

    申请号:PCT/JP2006/317455

    申请日:2006-09-04

    发明人: 平田 篤彦

    IPC分类号: H01L21/02 H01L21/603 H05K3/36

    摘要:  熱の影響を受けることなく接合対象となるウエーハの平行度を維持して両者の接合精度を高めかつ安定させることができる接合装置を提供する。  第1ブロック部材12と第1加圧軸22の間に第1空間部M1を介在させ、第2ブロック部材28と第2加圧軸42の間に第2空間部M2を介在させることで、第1ブロック部材12及び第2ブロック部材28から第1加圧軸22と第2加圧軸42には熱がほとんど伝達されないため、第1ブロック部材12内部と第2ブロック部材28内部が略均一な温度になる。第1ブロック部材12及び第2ブロック部材28の熱膨張と第1加圧軸22及び第2加圧軸42の熱膨張の違いにより発生する応力を第1支柱部材20、第2支柱部材40が撓んで吸収させることで、第1ブロック部材12の第1ウエーハW1把持面と第2ブロック部材28の第2ウエーハW2把持面の平面度を維持できる。

    摘要翻译: 提供了一种粘合装置,通过使两晶片的接合精度得到改善和稳定,通过保持晶片之间的平行度而不受热量的影响。 第一空间部(M1)设置在第一块构件(12)和第一加压轴(22)之间,第二空间部(M2)设置在第二块构件(28)和第二加压轴 42)。 因此,由于几乎没有热量从第一块构件(12)和第二块构件(28)传递到第一加压轴(22)和第二加压轴(42),所以第一块构件(12)内部的温度 并且第二块构件(28)变得基本均匀。 由于第一块构件(12)和第二块构件(28)的热膨胀和第一加压轴(22)和第二加压轴(42)的热膨胀系数之间的差异产生的应力被弯曲吸收 第一柱状构件(20)和第二柱状构件(40)的平行度与第一块构件(12)的第一晶片(W1)的保持平面和第二晶片(W2)的保持平面之间的平行度, 的第二块构件(28)。

    PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR COMPONENT
    50.
    发明申请
    PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR COMPONENT 审中-公开
    制造半导体器件和半导体元器件的工艺

    公开(公告)号:WO98047175A1

    公开(公告)日:1998-10-22

    申请号:PCT/JP1998/001681

    申请日:1998-04-13

    摘要: A process for manufacturing a semiconductor device comprising the step of mounting a semiconductor component on a printed circuit board, with the electrode of the semiconductor component facing to that of the printed circuit board, the step of testing the function as a semiconductor device with the semiconductor component being mounted on the printed circuit board, the step of joining the electrodes of the printed circuit board and the semiconductor component together to obtain a semiconductor device when the testing result is good, and the step of replacing at least one of the printed circuit board and the semiconductor component with another component of the same type and again testing the function as a semiconductor device when the testing result is not good. By this method, even if the testing result is not good, at least one of the printed circuit board and the semiconductor component can be easily removed and replaced with another one, since the function as a semiconductor device is tested with the semiconductor component being mounted on the printed circuit board, thereby preventing the waste of components and increasing the working efficiency. Furthermore, the semiconductor component has, on one side, an electrode pad to be connected to the electrode of the printed circuit board and also, on the opposite side an electrode pad for testing so that even when the electrode pad formed on one side of the semiconductor component is in contact with the electrode of the printed circuit board and thus hidden, the function test can be conducted easily by using the electrode pad for testing formed on the other side of the semiconductor component.

    摘要翻译: 一种制造半导体器件的方法,包括以下步骤:将半导体组件安装在印刷电路板上,半导体组件的电极面对印刷电路板的电极,测试具有半导体的半导体器件的功能的步骤 安装在印刷电路板上的部件,将印刷电路板的电极和半导体部件接合在一起的步骤,以便在测试结果良好时获得半导体器件;以及将印刷电路板 和具有相同类型的另一部件的半导体部件,并且当测试结果不好时,再次测试作为半导体器件的功能。 通过这种方法,即使测试结果不好,印刷电路板和半导体部件中的至少一个可以容易地被去除并替换为另一个,因为在安装半导体部件的情况下测试作为半导体器件的功能 在印刷电路板上,从而防止部件的浪费和提高工作效率。 此外,半导体部件的一侧具有要连接到印刷电路板的电极的电极焊盘,并且在相对侧具有用于测试的电极焊盘,使得即使当形成在电极板的一侧上的电极焊盘 半导体部件与印刷电路板的电极接触,因此隐藏,通过使用在半导体部件的另一侧形成的用于测试的电极焊盘,可以容易地进行功能测试。