摘要:
Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauteil (10) mit einem Umverdrahtungssubstrat (1) als Stapelelement für einen Halbleiterbauteilstapel (25, 30, 35, 40). Das Umverdrahtungssubstrat (1) weist einen Kunststoffrahmen (41) einer ersten Kunststoffmasse (42) und einen Mittenbereich (20) mit einer zweiten Kunststoffmasse (46) auf. In der zweiten Kunststoffmasse (46) ist ein Halbleiterchip (6) mit seiner Rückseite (14) und seinen Randseiten (12, 13) eingebettet, wobei die aktive Oberseite des Halbleiterbauteils (6) mit den Kunststoffmassen (42, 46) eine koplanare Fläche (3) aufweist.
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Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil mit einem Kunststoffgehäuse (2) und ein Verfahren zu seiner Herstellung, in dem ein Halbleiterchip (3) angeordnet ist. Die Unterseite (6) des Kunststoffgehäuses (2) weist Aussenkontakte (7) auf. Die Aussenkontakte (7) sind über Kontaktsäulen (8) des Halbleiterchips (3) und auf der Kunststoffgehäusemasse (9) angeordnete Umverdrahtungsleitungen (10) mit Kontaktflächen (11) auf der aktiven Oberseite (12) des Halbleiterchips (3) verbunden. Dabei stellen die Kontaktsäulen (8) eine elektrisch leitende Überhöhung der Kontaktflächen (11) dar.
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Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbasisbauteil (1) mit Verdrahtungssubstrat (5) und Zwischenverdrahtungsplatte (6) für einen Halbleiterbauteilstapel. Zwischen der Zwischenverdrahtungsplatte (6) und dem Verdrahtungssubstrat (5) ist ein Halbleiterchip (7) angeordnet, der über das Verdrahtungssubstrat (5) einerseits mit Außenkontakten (24) auf der Unterseite (23) des Verdrahtungssubstrats (5) und andererseits mit Kontaktanschlussflächen (10) in den Randbereichen (8, 9) des Verdrahtungssubstrats (5) elektrisch verbunden ist. Die Zwischenverdrahtungsplatte (6) weist abgewinkelte Außenflachleiter (14, 15) auf, die in den Kontaktanschlussflächen (10) der Verdrahtungsplatte (5) elektrisch verbunden sind. Außerdem sind an der Oberseite (16) der Zwischenverdrahtungsplatte (6) Außenkontaktanschlussflächen (20) auf den freien Enden der Innenflachleiter (19) angeordnet, die in Größe und Anordnung Außenkontakten eines zu stapelnden Halbleiterbauteils entsprechen.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Durchkontaktierungen (1) durch einen plattenförmigen Verbund-körper (2), der Halbleiterchips (3) und eine Kunststoffmasse (4) aufweist. Dazu wird der plattenförmige Verbundkörper (2) zwischen zwei Hochspannungsspitzenelektroden (10, 11) eingebracht und diese Spitzenelektroden werden derart ausgerichtet, dass sie an den Positionen (14), an denen Durchkontaktierungen (1) durch die mit leitenden Partikeln (9) gefüllte Kunststoffmasse (4) einzubringen sind. Durch Anlegen einer Hochspannung an die Spitzenelektroden wird schließlich die Durchkontaktierung (1) vollzogen.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen einer Umverdrahtung auf einen Nutzen. Dazu wird ein Nutzen bereit gestellt, der eine koplanare Gesamtoberseite einer Oberseite einer Kunststoffmasse und den Oberseiten von Halbleiterchips aufweist. Das Verfahren stellt eine Umverdrahtungslage mit Verwirklichung von Außenkontakten und Umverdrahungsleitungen zur Verfügung, die durch einen zweistufigen Belichtungsschritt Positionsfehler der Halbleiterchips in den Bauteilpositionen des Nutzens kompensiert.
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Die Erfindung betriff ein Messgerät und ein Messverfahren für chipkartenförmige Biosensoren (1) und Verfahren zur Herstellung desselben. Dazu weist der Biosensor (1) einen Halbleiterchip (2) mit einer bioaktiven Struktur (3) und Kontaktflächen (4) auf. Der Biosensor (1) ist von einem Umverdrahtungssubstrat (6) bedeckt. Das Umverdrahtungssubstrat (6) überragt den Halbleiterchip (2), so dass Außenkontaktflächen (9) des Umverdrahtungssubstrats (6) frei zugänglich sind. Sowohl der Biosensor (1) als auch das an diesen angepasste Messgerät sind als Wegwerfprodukte konzipiert.
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Die Erfindung betrifft ein Verdrahtungssubstrat (5) eines Halbleiterbauteils mit Außenkontaktanschlussflecken (3) für Außenkontakte eines Halbleiterbauteils. Dazu weist das starre Verdrahtungssubstrat (5) eine Oberseite (7) mit Aussparungen (8) auf, wobei die Aussparungen (8) ein gummielastisches Material (9) aufweisen. Die Außenkontaktanschlussflecken (3) sind auf dem gummielastischen Material (9) angeordnet. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Verdrahtungssubstrats (5), wobei während des Herstellungsverfahrens gummielastische Materialflecken (25) in eine Vorstufe eines Polymerkunststoffes eingedrückt werden.
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Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauteil (13) mit einem dünnen Halbleiterchip (1) und ein Verfahren zur Herstellung und Weiterverarbeitung derart dünner Halbleiterchips (1). Das Halbleiterbauteil (13) weist neben dem dünnen Halbleiterchip (1) ein Verdrahtungssubstrat (2) auf, das auf seiner Oberseite (5) den Halbleiterchip (1) trägt und auf seiner Unterseite (6) und/oder seinen Randseiten (27, 28) Außenkontakte (3) aufweist. Der Halbleiterchip (1) ist aus monokristallinem Silizium einer Dicke d ≤ 25µm; hergestellt.
摘要:
Es wird eine Chipkarte zur kontaktbehafteten Datenübertragung bestehend aus einem Kartenkörper und einem in den Kartenkörper eingebauten Chipkartenmodul mit: einem Halbleiterchip (3) mit einer Rückseite, mit einer aktiven Oberseite und mit Seitenflächen; einer den Halbleiterchip umhüllenden Kunststoffgehäusemasse, (11) die zumindest eine Oberfläche aufweist, die koplanar zu der aktiven Oberseite des Halbleiterchips ist; einer ersten dielektrischen Schicht, die auf diese Oberfläche und auf der aktiven Oberseite des Halbleiterchips angeordnet ist; einer oder mehrerer über weitere dielektrische Schichten getrennte Umverdrahtungsmetallisierungsebenen (13), die mit der aktiven Oberseite des Halbleiterchips verbunden sind; und Aussenkontaktflächen (14), die auf der äussersten Umverdrahtungsebene ausgebildet sind, auf die eine Kontaktmetallisierung (15) für eine kontaktbehaftete Datenübertragung aufgebracht ist. Das Chipkartenmodul zeichnet sich durch ein sehr geringes Bauvolumen aus, da keine Bonddrähte verwendet werden.
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Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil (1) mit gestapelten Halbleiterchips (3,4) und einen Nutzen (23) zur Herstellung des Bauteils (1). Dazu weist der Stapel (2) eine Flachleiterstruktur (8) mit einer Chipinsel (9) auf, auf welcher ein gestapelter Halbleiterchip (4) angeordnet ist, während sich darunter ein erster Halbleiterchip (3) befindet. Die Chipinsel (9) ist von Flachleitern (10) umgeben, die Kontaktsäulen (11) aufweisen. Diese Kontaktsäulen (11) weisen Säulenkontaktflächen (13) auf, welche zusammen mit der aktiven Oberseite (5) des ersten Halbleiterchips (3) und Oberseitenbereichen (14) einer Kunststoffgehäusemasse (15) eine koplanare Gesamtoberseite (16) bilden.