公开(公告)号：JP6254649B2

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：JP2016151318

申请日：2016-08-01

申请人： 日鉄住金マイクロメタル株式会社 ,  新日鉄住金マテリアルズ株式会社

发明人： 山田　隆 ,  隆 山田 ,  大造 小田 ,  大造 小田 ,  榛原　照男 ,  照男 榛原 ,  良 大石 ,  良 大石 ,  齋藤　和之 ,  和之 齋藤 ,  宇野　智裕 ,  智裕 宇野

IPC分类号： H01L21/60 ,  C22C9/00 ,  C22C9/02 ,  C22C9/04 ,  C22C9/06

CPC分类号： H01L24/45 ,  B23K35/0227 ,  B23K35/3013 ,  B23K35/302 ,  B23K2201/40 ,  C22C5/04 ,  C22C9/00 ,  C22C9/04 ,  C22C9/06 ,  H01L24/05 ,  H01L24/43 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/43 ,  H01L2224/4312 ,  H01L2224/43125 ,  H01L2224/4321 ,  H01L2224/4382 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2224/43986 ,  H01L2224/45 ,  H01L2224/45005 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45105 ,  H01L2224/45109 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45113 ,  H01L2224/45118 ,  H01L2224/4512 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45178 ,  H01L2224/45541 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45572 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45664 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/4845 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48824 ,  H01L2224/78 ,  H01L2224/78251 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85203 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01034 ,  H01L2924/01052 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/0705 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/186 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01202 ,  H01L2924/01203 ,  H01L2924/01204 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/20106 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/20108 ,  H01L2924/20109 ,  H01L2924/2011 ,  H01L2924/20111 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JPWO2016204138A1

公开(公告)日：2017-09-14

申请号：JP2017525235

申请日：2016-06-14

申请人： 日鉄住金マイクロメタル株式会社 ,  新日鉄住金マテリアルズ株式会社

发明人： 山田　隆 ,  隆 山田 ,  大造 小田 ,  大造 小田 ,  榛原　照男 ,  照男 榛原 ,  良 大石 ,  良 大石 ,  齋藤　和之 ,  和之 齋藤 ,  宇野　智裕 ,  智裕 宇野

IPC分类号： H01L21/60

CPC分类号： H01L24/45 ,  B23K35/0227 ,  B23K35/3013 ,  B23K35/302 ,  B23K2201/40 ,  C22C5/04 ,  C22C9/00 ,  C22C9/04 ,  C22C9/06 ,  H01L24/05 ,  H01L24/43 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/43 ,  H01L2224/4312 ,  H01L2224/43125 ,  H01L2224/4321 ,  H01L2224/4382 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2224/43986 ,  H01L2224/45 ,  H01L2224/45005 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45105 ,  H01L2224/45109 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45113 ,  H01L2224/45118 ,  H01L2224/4512 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45178 ,  H01L2224/45541 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45572 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45664 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/4845 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48824 ,  H01L2224/78 ,  H01L2224/78251 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85203 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01034 ,  H01L2924/01052 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/0705 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/186 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01202 ,  H01L2924/01203 ,  H01L2924/01204 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/20106 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/20108 ,  H01L2924/20109 ,  H01L2924/2011 ,  H01L2924/20111 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

摘要： Cu合金芯材と、前記Cu合金芯材の表面に形成されたPd被覆層とを有する半導体装置用ボンディングワイヤにおいて、前記ボンディングワイヤが高温環境下における接続信頼性を付与する元素を含み、下記(1)式で定義する耐力比が1.1〜1.6であることを特徴とする。耐力比=最大耐力/0.2%耐力 (1)

公开(公告)号：JP4554724B2

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：JP2009550510

申请日：2009-01-20

申请人： 新日鉄マテリアルズ株式会社 ,  株式会社日鉄マイクロメタル

发明人： 智裕 宇野 ,  隆 山田 ,  圭一 木村

IPC分类号： H01L21/60

CPC分类号： C22C5/02 ,  B21C37/047 ,  B23K35/0261 ,  B23K35/0272 ,  B23K35/24 ,  B23K35/30 ,  B23K35/3006 ,  B23K35/3013 ,  B23K35/302 ,  C22C9/00 ,  C22F1/08 ,  C22F1/14 ,  H01L24/43 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/4312 ,  H01L2224/4321 ,  H01L2224/43825 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2224/43986 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45176 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45572 ,  H01L2224/456 ,  H01L2224/45639 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45664 ,  H01L2224/45669 ,  H01L2224/45673 ,  H01L2224/45676 ,  H01L2224/48011 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48471 ,  H01L2224/48479 ,  H01L2224/4848 ,  H01L2224/4849 ,  H01L2224/4851 ,  H01L2224/48511 ,  H01L2224/48624 ,  H01L2224/48639 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48839 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/85045 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85186 ,  H01L2224/85203 ,  H01L2224/85207 ,  H01L2224/85439 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2225/06562 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/15747 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01203 ,  H01L2224/45655 ,  H01L2224/45657 ,  H01L2224/45671 ,  H01L2224/45666 ,  H01L2924/01204 ,  H01L2924/01202 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/20655 ,  H01L2924/20652 ,  H01L2924/20653 ,  H01L2924/20654 ,  H01L2924/20656 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48824 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/20758 ,  H01L2924/20759 ,  H01L2924/2076 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/20106 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/2075 ,  H01L2924/20754

摘要： An object of the present invention is to provide a high-performance bonding wire that is suitable for semiconductor mounting technology, such as stacked chip bonding, thinning, and fine pitch mounting, where wire lean (leaning) at an upright position of a ball and spring failure can be suppressed and loop linearity and loop height stability are excellent. This bonding wire for a semiconductor device includes a core material made of a conductive metal, and a skin layer formed on the core material and containing a metal different from the core material as a main component; wherein a relationship between an average size (a) of crystal grains in the skin layer on a wire surface along a wire circumferential direction and an average size (b) of crystal grains in the core material on a normal cross section, the normal cross section being a cross section normal to a wire axis, satisfies an inequality of a/b ‰¤ 0.7.

公开(公告)号：JP2016195263A

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：JP2016119070

申请日：2016-06-15

申请人： クゥアルコム・インコーポレイテッド ,  QUALCOMM INCORPORATED

发明人： 林 茂雄 ,  周 健康 ,  陳 科宏

IPC分类号： H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L23/12 ,  H01L21/60 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5223 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/48 ,  H01L21/563 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04073 ,  H01L2224/05173 ,  H01L2224/05176 ,  H01L2224/05183 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05669 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45176 ,  H01L2224/45183 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48639 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48647 ,  H01L2224/48664 ,  H01L2224/48669 ,  H01L2224/48839 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/48847 ,  H01L2224/48864 ,  H01L2224/83101 ,  H01L2224/83192 ,  H01L24/45 ,  H01L24/83 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01061 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01087 ,  H01L2924/01094 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/351

摘要： 【課題】ストレスリリーフと接触窓構造の間隔距離の微小化を可能にする線路デバイス構造の製作過程及びその構造を提供する。 【解決手段】基板と、第一金属柱体68と、第二金属柱体と、を備え、第一金属柱体68は、基板上に位置し、第一金属柱体68の最大横寸法Hwを第一金属柱体68の高度Htで割ると4より小さく、かつ第一金属柱体68の高度が20μmから300μmの間であって、第二金属柱体は、基板上に位置し、第二金属柱体の最大横寸法を第二金属柱体の高度で割ると4より小さく、かつ第一金属柱体の中心点から第二金属柱体の中心点までの距離Hbが10μmから250μmの間である。 【選択図】図7a

摘要翻译： 要解决的问题：提供：制造能够实现应力消除和接触窗结构之间的细间隔距离的电路装置结构的过程; 和结构。解决方案：实施例包括基板，第一金属柱68和第二金属柱。 第一金属柱68位于基板上。 第一金属柱68的最大水平尺寸Hw除以第一金属柱68的高度Ht小于4，第一金属柱68的高度为20μm至300μm。 第二金属柱位于基板上。 第二金属柱的最大水平尺寸除以第二金属柱的高度小于4，第一金属柱的中心与第二金属柱的中心之间的距离Hb为10μm至250μm 选择图：图7a

公开(公告)号：JP5645821B2

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：JP2011523441

申请日：2009-08-11

申请人： センブラント リミテッド ,  センブラント リミテッド

发明人： ハンフリーズ，マーク，ロブソン ,  フェルディナンディ，フランク ,  スミス，ロドニー，エドワード

IPC分类号： H05K3/28

CPC分类号： H05K3/282 ,  H01H13/78 ,  H01H2215/004 ,  H01H2229/012 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/85 ,  H01L2224/06 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45105 ,  H01L2224/45109 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45113 ,  H01L2224/45116 ,  H01L2224/4512 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45138 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45149 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45157 ,  H01L2224/4516 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45166 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/4517 ,  H01L2224/45171 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45178 ,  H01L2224/4518 ,  H01L2224/45184 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45599 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/4569 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48455 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48464 ,  H01L2224/48599 ,  H01L2224/48699 ,  H01L2224/8502 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01025 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/0104 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01087 ,  H01L2924/01327 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/19107 ,  H01L2924/2075 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/20754 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/3011 ,  H05K3/222 ,  H05K3/284 ,  H05K3/328 ,  H05K2201/015 ,  H05K2201/0179 ,  H05K2201/0195 ,  H05K2203/049 ,  Y10T29/49155 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/20759 ,  H01L2924/2076 ,  H01L2924/20758

公开(公告)号：JP2014103411A

公开(公告)日：2014-06-05

申请号：JP2014007143

申请日：2014-01-17

申请人： Megit Acquisition Corp ,  メジット・アクイジション・コーポレーションMegit Acquisition Corp.

发明人： HAYASHI SHIGEO ,  CHOU CHIEN-KANG ,  CHEN KE-HUNG

IPC分类号： H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/12 ,  H01L23/522

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5223 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04073 ,  H01L2224/05173 ,  H01L2224/05176 ,  H01L2224/05183 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05669 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45176 ,  H01L2224/45183 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48639 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48647 ,  H01L2224/48664 ,  H01L2224/48669 ,  H01L2224/48839 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/48847 ,  H01L2224/48864 ,  H01L2224/83101 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48869 ,  H01L2224/83851 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/05599

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing process of a line device structure, which relieves stress and makes interval distance of a contact window structure small, and to provide the structure.SOLUTION: A line device structure comprises a substrate, a first metal pole 68 and a second metal pole. The first metal pole 68 is positioned on the substrate. When maximum side dimension Hw of the first metal pole 68 is divided by height Ht of the first metal pole 68, a quotient is smaller than four. The height of the first metal pole 68 is 20 μm to 300 μm. The second metal pole is positioned on the substrate. When maximum side dimension of the second metal pole is divided by height of the second metal pole, a quotient is smaller than four. Distance Hb from a center point of the first metal pole to a center point of the second metal pole is 10 μm to 250 μm.

摘要翻译： 要解决的问题：提供减轻应力并使接触窗结构的间隔距离小的线路装置结构的制造工艺，并提供结构。解决方案：线路器件结构包括衬底，第一金属极 68和第二金属杆。 第一金属杆68位于基底上。 当第一金属杆68的最大侧面尺寸Hw除以第一金属杆68的高度Ht时，商大于4。 第一金属杆68的高度为20μm〜300μm。 第二金属杆位于基板上。 当第二金属极的最大侧面尺寸除以第二金属极的高度时，商大于4。 从第一金属极的中心点到第二金属极的中心点的距离Hb为10μm〜250μm。

公开(公告)号：JP5435524B2

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：JP2006173778

申请日：2006-06-23

申请人： メジット・アクイジション・コーポレーションMegit Acquisition Corp.

发明人： 茂雄 林 ,  健康 周 ,  科宏 陳

IPC分类号： H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L21/822 ,  H01L23/12 ,  H01L23/522 ,  H01L27/04

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5223 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04073 ,  H01L2224/05173 ,  H01L2224/05176 ,  H01L2224/05183 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05669 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45176 ,  H01L2224/45183 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48639 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48647 ,  H01L2224/48664 ,  H01L2224/48669 ,  H01L2224/48839 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/48847 ,  H01L2224/48864 ,  H01L2224/83101 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48869 ,  H01L2224/83851 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/05599

公开(公告)号：JP2007005808A

公开(公告)日：2007-01-11

申请号：JP2006173769

申请日：2006-06-23

申请人： Megic Corp ,  米輯電子股▲分▼有限公司

发明人： HAYASHI SHIGEO ,  CHOU CHIEN-KANG ,  CHEN KE-HUNG

IPC分类号： H01L21/3205 ,  H01L23/12 ,  H01L23/52

CPC分类号： H01L23/5227 ,  H01L21/2885 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5223 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/83 ,  H01L2224/0347 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04073 ,  H01L2224/05173 ,  H01L2224/05176 ,  H01L2224/05183 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/05639 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/05664 ,  H01L2224/05669 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13022 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45164 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45176 ,  H01L2224/45183 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48639 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48647 ,  H01L2224/48664 ,  H01L2224/48669 ,  H01L2224/48839 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/48847 ,  H01L2224/48864 ,  H01L2224/83101 ,  H01L2224/83192 ,  H01L2924/00011 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04941 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/05042 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/351 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48869 ,  H01L2224/83851 ,  H01L2224/05552 ,  H01L2224/05599

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a line device which is to be miniaturized. SOLUTION: A first metal pole and a second metal pole are arranged on a substrate. When maximum width of the first metal pole is divided by height of the first metal pole and the second metal pole, it is smaller than "4". Height of the first metal pole is 20 μm to 300 μm, and a distance from a center point of the first metal pole to a center point of the second metal pole is 10 μm to 250 μm. Thus, the distance between the metal poles can be reduced to ≤250 μm, and the number of pin holes can be suppressed to a target being ≤400. Performance of IC can effectively be improved, and resistance and load of an IC metal connection line of a low power IC element can be sharply reduced. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种要小型化的线路装置的制造方法。 解决方案：第一金属极和第二金属极布置在基板上。 当第一金属极的最大宽度除以第一金属极和第二金属极的高度时，其小于“4”。 第一金属极的高度为20μm〜300μm，从第一金属极的中心点到第二金属极的中心点的距离为10μm〜250μm。 因此，金属极之间的距离可以降低到≤250μm，并且可以将针孔的数量抑制到目标值≤400。 可以有效地提高IC的性能，并且能够大幅降低低功率IC元件的IC金属连接线的电阻和负载。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2018139293A

公开(公告)日：2018-09-06

申请号：JP2018071290

申请日：2018-04-03

申请人： 日鉄住金マイクロメタル株式会社 ,  新日鉄住金マテリアルズ株式会社

发明人： 山田 隆 ,  小田 大造 ,  榛原 照男 ,  大石 良 ,  齋藤 和之 ,  宇野 智裕

IPC分类号： C22C9/00 ,  C22C9/06 ,  C22C9/04 ,  H01L21/60

CPC分类号： B23K35/0227 ,  B23K35/3013 ,  B23K35/302 ,  B23K2101/40 ,  B32B15/00 ,  B32B15/01 ,  B32B15/018 ,  C22C5/04 ,  C22C9/00 ,  C22C9/04 ,  C22C9/06 ,  C23C30/00 ,  C23C30/005 ,  H01L24/05 ,  H01L24/43 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/05624 ,  H01L2224/43 ,  H01L2224/4312 ,  H01L2224/43125 ,  H01L2224/4321 ,  H01L2224/4382 ,  H01L2224/43848 ,  H01L2224/43986 ,  H01L2224/45 ,  H01L2224/45005 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45105 ,  H01L2224/45109 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45113 ,  H01L2224/45118 ,  H01L2224/4512 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45155 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45178 ,  H01L2224/45541 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45572 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45664 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/4845 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48824 ,  H01L2224/78 ,  H01L2224/78251 ,  H01L2224/85 ,  H01L2224/85065 ,  H01L2224/85075 ,  H01L2224/85203 ,  H01L2224/85444 ,  H01L2224/85464 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01034 ,  H01L2924/01052 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/0705 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/186 ,  Y10T428/12868 ,  Y10T428/12875 ,  Y10T428/12882 ,  Y10T428/12889 ,  Y10T428/12896 ,  Y10T428/12903 ,  Y10T428/1291 ,  Y10T428/2495 ,  Y10T428/24967 ,  Y10T428/265 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01202 ,  H01L2924/01203 ,  H01L2924/01204 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/20106 ,  H01L2924/20107 ,  H01L2924/20108 ,  H01L2924/20109 ,  H01L2924/2011 ,  H01L2924/20111 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/013 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/20105 ,  H01L2924/01001 ,  H01L2924/01007 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01013

摘要： 【課題】Cu合金芯材と、その表面に形成されたPd被覆層とを有する半導体装置用ボンディングワイヤにおいて、高温におけるボール接合部の接合信頼性の向上とウェッジ接合性との両立を図る。 【解決手段】Cu合金芯材と、前記Cu合金芯材の表面に形成されたPd被覆層とを有する半導体装置用ボンディングワイヤにおいて、前記ボンディングワイヤが高温環境下における接続信頼性を付与する元素を含み、下記(1)式で定義する耐力比が1.1〜1.6であることを特徴とする。 耐力比=最大耐力/0.2%耐力 (1) 【選択図】なし

公开(公告)号：JP6291713B2

公开(公告)日：2018-03-14

申请号：JP2013052297

申请日：2013-03-14

申请人： 日亜化学工業株式会社

发明人： 山下 良平 ,  吉元 亮一

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L33/62

CPC分类号： H01L33/62 ,  H01L23/495 ,  H01L23/49517 ,  H01L23/49541 ,  H01L23/49548 ,  H01L23/49562 ,  H01L24/29 ,  H01L24/32 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/73 ,  H01L24/97 ,  H01L33/483 ,  H01L33/486 ,  H01L33/52 ,  H01L33/54 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/29301 ,  H01L2224/29339 ,  H01L2224/29344 ,  H01L2224/29364 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/45169 ,  H01L2224/45173 ,  H01L2224/45184 ,  H01L2224/45565 ,  H01L2224/45624 ,  H01L2224/45639 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/45647 ,  H01L2224/45655 ,  H01L2224/45657 ,  H01L2224/4566 ,  H01L2224/45673 ,  H01L2224/4568 ,  H01L2224/45684 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48257 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/0781 ,  H01L2924/12035 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18301 ,  H01L2933/0033 ,  H01L2933/0066 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/0715 ,  H01L2924/07025 ,  H01L2924/095 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/20752