VERFAHREN ZUM TRANSFERIEREN VON HALBLEITERCHIPS UND TRANSFERWERKZEUG
    5.
    发明申请
    VERFAHREN ZUM TRANSFERIEREN VON HALBLEITERCHIPS UND TRANSFERWERKZEUG 审中-公开
    转移半导体芯片和转移工具的方法

    公开(公告)号:WO2018077961A1

    公开(公告)日:2018-05-03

    申请号:PCT/EP2017/077331

    申请日:2017-10-25

    摘要: Ein Verfahren zum Transferieren von Halbleiterchips umfasst Schritte zum Bereitstellen eines Transferwerkzeugs mit einer Mehrzahl von Segmenten, wobei jedes Segment einen Flüssigkeitsaufnahmebereich aufweist, zum Bereitstellen einer Mehrzahl von Halbleiterchips in einer regelmäßigen Anordnung auf einem Quellträger, zum Bereitstellen eines Zielträgers, zum selektiven Anordnen von Flüssigkeitstropfen an den Flüssigkeitsaufnahmebereichen von zumindest einigen der Segmente, zum Annähern des Transferwerkzeugs an den Quellträger, wobei jeder Flüssigkeitstropfen mit einem Halbleiterchip in Kontakt gerät und diesen benetzt, zum Abheben des Transferwerkzeugs von dem Quellträger, wobei durch Flüssigkeitstropfen benetzte Halbleiterchips mit dem Transferwerkzeug von dem Quellträger abgehoben werden, zum Annähern des Transferwerkzeugs an den Zielträger, wobei die an dem Transferwerkzeug angeordneten Halbleiterchips in Kontakt mit dem Zielträger geraten, und zum Abheben des Transferwerkzeugs von dem Zielträger, wobei die mit dem Zielträger in Kontakt geratenen Halbleiterchips an dem Zielträger verbleiben.

    摘要翻译:

    转移的半导体芯片的方法包括提供具有多个节段的转移工具的步骤,具有FL导航用途每段具有ssigkeitsaufnahmebereich,对在常规BEAR ROAD强度排列提供多个半导体芯片 一个QuelltrÄ GER,用于提供ZieltrÄ热尔,对于ssigkeitstropfen到的至少一些区段,为安&AUML的FL导航用途ssigkeitsaufnahmebereichen选择性地将FL导航用途;埃尔南德斯转印工具向Quelltr&AUML的; GER,每个FL导航用途ssigkeitstropfen有半导体芯片 GER接触BEAR t与此润湿,用于提升来自Quelltr&AUML转移工具; GER,其中,由FL导航用途ssigkeitstropfen与Quelltr&AUML的转移工具润湿半导体芯片; GER解除,为安Ä埃尔南德斯转印工具向Zieltr&AUML的; GER,其中 Halbl安排在转移工具上 与Zieltr BEAR下降GER接触脓芯片,并且解除从Zieltr&AUML转移工具; GER,其中与所述Zieltr&AUML亨特钻进与半导体芯片到Zieltr BEAR GER接触时能保持

    METHOD FOR DISPOSING A COMPONENT
    9.
    发明申请
    METHOD FOR DISPOSING A COMPONENT 审中-公开
    处理组件的方法

    公开(公告)号:WO2011114696A1

    公开(公告)日:2011-09-22

    申请号:PCT/JP2011/001483

    申请日:2011-03-14

    发明人: ARASE, Hidekazu

    IPC分类号: H01L21/52 H05K3/38

    摘要: A method for disposing a component comprises: a step of preparing a substrate and a first liquid; preparing a component-containing liquid containing the components and a second liquid; a step of disposing the first liquid in a hydrophilic region; a step of bringing the component-containing liquid into contact with the first liquid disposed on the hydrophilic region; a step of removing the first liquid and the second liquid to dispose the component on the hydrophilic region. The hydrophilic region is composed of a component-disposing region and a liquid-capturing region formed on the periphery of the component-disposing region. The liquid-capturing region comprises a surface represented by the following chemical formula I.

    摘要翻译: 一种配置组件的方法包括:准备基板和第一液体的步骤; 制备含有组分的组分液体和第二液体; 将第一液体设置在亲水区域中的步骤; 使含有成分的液体与设置在亲水区域上的第一液体接触的工序; 去除第一液体和第二液体以将组分置于亲水区域上的步骤。 亲水区域由形成在部件配置区域的周边的部件配置区域和液体捕获区域构成。 液体捕获区域包含由以下化学式I表示的表面。

    METHOD AND APPARATUS FOR ASSEMBLING A COMPONENT WITH A FLEXIBLE FOIL, AS WELL AS THE ASSEMBLED PRODUCT
    10.
    发明申请
    METHOD AND APPARATUS FOR ASSEMBLING A COMPONENT WITH A FLEXIBLE FOIL, AS WELL AS THE ASSEMBLED PRODUCT 审中-公开
    用于组装具有柔性箔的组件的方法和装置,作为组装的产品

    公开(公告)号:WO2015084164A1

    公开(公告)日:2015-06-11

    申请号:PCT/NL2014/050815

    申请日:2014-11-28

    摘要: Method and apparatus for assembling a component with a flexible foil, as well as assembled product A method is provided for assembling a component (20) with a flexible foil (10). The method comprising the steps of • - providing (SI) a flexible foil (10) having a first side (11) with at least one liquid confinement zone (12) and at least one liquid confinement subzone (13) enclosed by the liquid confinement zone, • - depositing (S2) an alignment liquid (30) in the at least one liquid confinement subzone (13), • - moving (S3) the component (20) towards the liquid confinement zone, and bringing (S4) a surface (21) of the component facing the flexible foil into contact with the alignment liquid in the at least one liquid confinement subzone and releasing (S5) the component (20). The step of moving (S3) the component (20) towards the flexible foil, and the step of bringing (S4) a surface (21) of the component facing the flexible foil into contact with the alignment liquid, is realized with a gripping tool (130) that includes one or more capillary tubes (131) ending in a downward facing opening (132). At least a portion of the capillary tubes that ends in the downward facing opening (132) is filled with a carrier liquid (135). A first, adhesive force (Fal) exerted by the carrier liquid on the component is larger than a second force (Fg), that is exerted by gravity on the component and wherein said first adhesive force (Fal) is smaller than the sum (Fg + Fa2) of said second force (Fg) and a third, adhesive force (Fa2) exerted by the alignment liquid on the component when the component comes into contact with the alignment liquid. The alignment liquid (30) in contact with the component (20) exerts adhesive forces on the component that align the released component with the flexible foil.

    摘要翻译: 用于组装具有柔性箔的组件的方法和装置以及组装产品提供了用于将组件(20)与柔性箔(10)组装的方法。 该方法包括以下步骤: - 提供(SI)具有至少一个液体限制区(12)的第一侧(11)的柔性箔(10)和由液体限制包围的至少一个液体限制子区(13) 区域,•在所述至少一个液体限制子区域(13)中沉积(S2)对准液体(30); - 将所述部件(20)移动(S3)朝向液体限制区域,并且使(S4)表面 (21)与所述至少一个液体限制子区域中的对准液接触并释放(S5)所述部件(20)。 将组件(20)朝着柔性箔移动(S3)的步骤和使面向柔性箔的部件的表面(21)与对准液体接触的步骤(S4)通过夹持工具 (130),其包括以向下的开口(132)结束的一个或多个毛细管(131)。 在向下的开口(132)中终止的毛细管的至少一部分被载液(135)填充。 首先,由载液施加在部件上的粘合力(Fal)大于通过重力施加在部件上的第二力(Fg),并且其中所述第一粘附力(Fal)小于总和(Fg + Fa2)和第三粘合力(Fa2),当所述部件与所述取向液体接触时,所述对准液体对所述部件施加的粘合力(Fa2)。 与部件(20)接触的对准液体(30)对被释放的部件与柔性箔片对准的部件施加粘合力。