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    Multi-electrode stack arrangement
    8.
    发明授权
    Multi-electrode stack arrangement 有权
    多电极堆叠布置

    公开(公告)号：US09355751B2

    公开(公告)日：2016-05-31

    申请号：US14541238

    申请日：2014-11-14

    申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.

    发明人： Willem Henk Urbanus ,  Marco Jan-Jaco Wieland

    IPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/24 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12

    CPC分类号： G21K1/02 ,  G21K5/04 ,  H01J37/026 ,  H01J37/065 ,  H01J37/12 ,  H01J37/16 ,  H01J37/24 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3175 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/04 ,  H01J2237/1215 ,  H01J2237/16 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/30472

    摘要： The invention relates to an electrode stack (70) comprising stacked electrodes (71-80) for manipulating a charged particle beam along an optical axis (A). Each electrode comprises an electrode body with an aperture for the charged particle beam. The electrode bodies are mutually spaced and the electrode apertures are coaxially aligned along the optical axis. The electrode stack comprises electrically insulating spacing structures (89) between each pair of adjacent electrodes for positioning the electrodes (71-80) at predetermined mutual distances along the axial direction (Z). A first electrode and a second electrode each comprise an electrode body with one or more support portions (86), wherein each support portion is configured to accommodate at least one spacing structure (89). The electrode stack has at least one clamping member (91-91c) configured to hold the support portions (86) of the first and second electrodes, as well as the intermediate spacing structure (89) together.

    摘要翻译： 本发明涉及一种电极堆叠（70），其包括用于沿光轴（A）操纵带电粒子束的堆叠电极（71-80）。 每个电极包括具有用于带电粒子束的孔的电极体。 电极体相互间隔开，并且电极孔沿光轴同轴对准。 电极堆叠包括在每对相邻电极之间的电绝缘间隔结构（89），用于将电极（71-80）沿着轴向方向（Z）定位在预定的相互距离处。 第一电极和第二电极各自包括具有一个或多个支撑部分（86）的电极主体，其中每个支撑部分构造成容纳至少一个间隔结构（89）。 电极堆叠具有至少一个构造成将第一和第二电极的支撑部分（86）以及中间间隔结构（89）保持在一起的夹紧构件（91-91c）。

    ANNULAR COOLING FLUID PASSAGE FOR MAGNETS
    9.
    发明申请
    ANNULAR COOLING FLUID PASSAGE FOR MAGNETS 有权
    用于磁铁的环形冷却液通道

    公开(公告)号：US20160027610A1

    公开(公告)日：2016-01-28

    申请号：US14873284

    申请日：2015-10-02

    申请人： Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

    发明人： Scott Barraclough ,  James S. Buff

    IPC分类号： H01J37/30 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317 ,  H01F7/20 ,  H05K7/20

    CPC分类号： H01J37/3007 ,  H01F7/20 ,  H01F27/10 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/1475 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/1526 ,  H01J2237/303 ,  H01J2237/31701 ,  H05K7/20

    摘要： A magnet having an annular coolant fluid passage is generally described. Various examples provide a magnet including a first magnet and a second magnet disposed around an ion beam coupler with an aperture there through. The first and second magnets each including a metal core having a cavity therein, one or more conductive wire wraps disposed around the metal core, and an annular core element configured to be inserted into the cavity, wherein an annular coolant fluid passage is formed between the cavity and the annular core element. Furthermore, the annular core element may have a first diameter and a middle section having a second diameter, the second diameter being less than the first diameter. Other embodiments are disclosed and claimed.

    摘要翻译： 通常描述具有环形冷却剂流体通道的磁体。 各种实施例提供一种包括第一磁体和设置在离子束耦合器周围的第二磁体的磁体，其中具有通孔。 所述第一和第二磁体各自包括在其中具有空腔的金属芯，设置在所述金属芯周围的一个或多个导电线圈，以及被构造成插入所述空腔中的环形芯体元件，其中环形冷却剂流体通道形成在 腔和环形芯元件。 此外，环形芯元件可以具有第一直径和具有第二直径的中间部分，第二直径小于第一直径。 公开和要求保护其他实施例。