摘要:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden einer ersten Kontaktfläche (3) eines ersten, zumindest überwiegend transparenten Substrats (1) mit einer zweiten Kontaktfläche (4) eines zweiten, zumindest überwiegend transparenten Substrats (2), wobei an mindestens einer der Kontaktflächen zum Bonden ein Oxid verwendet wird, aus dem eine zumindest überwiegend transparente Verbindungsschicht ( 14) mit: einer elektrischen Leitfähigkeit von mindestens 10e1 S/cm 2 (Messung: Vierpunktmethode, bezogen auf Temperatur von 300K) und einem optischen Transmissionsgrad größer 0,8 (für einen Wellenlängenbereich von 400 nm bis 1500 nm) an der ersten und zweiten Kontaktfläche (3, 4) ausgebildet wird.
摘要翻译:本发明涉及一种接合第一接触表面的方法(3)的第一,至少基本上透明的基板(1)具有第二接触表面(4)的第二的,至少基本上透明的基板(2),其中,所述用于接合的接触表面的至少一个 使用氧化物,从其中至少主要透明粘接层(14),包括:至少10E1 S / cm 2的导电性(测量:四点基于的300K温度的方法),和光透射比大于0.8(为一个波长范围内的 在第一和第二接触表面(3 400纳米至1500纳米),4形成)。
摘要:
The invention relates to a ribbon, preferably a bonding ribbon for bonding in microelectronics, comprising a first layer (2) comprising copper with a surface and at least a coating layer (3) superimposed over the surface of the first layer (2), wherein the coating layer (3) comprises aluminium, and an intermediate layer (7), wherein in a cross-sectional view of the ribbon the area share of the first layer (2) is in the range of from 50 to 96 %, based on the total area of the cross-section of the ribbon, wherein the aspect ratio between the width and the height of the ribbon in a cross-sectional view is in the range of from 0.03 to less than 0.8, wherein the ribbon has a cross-sectional area in the range of from 25Ό00 μιη 2 to 800Ό00 μιη 2 , wherein the intermediate layer (7) is arranged between the first layer (2) and the coating layer (7), wherein the intermediate layer (7) comprises at least one intermetallic phase comprising material of the first layer (2) and material of the coating layer (3). The invention further relates to a process for making a wire, to a wire obtainable by said process, to an electric device comprising at least two elements and at least aforementioned wire, to a propelled device comprising said electric device and to a process of connecting two elements through aforementioned wire by wedge-bonding.
摘要:
The present invention relates to a method for bonding a first contact area (3) of a first, at least predominantly transparent substrate (1) to a second contact area (4) of a second, at least predominantly transparent substrate (2) wherein an oxide is used at at least one of the contact areas for bonding, from which oxide an at least predominantly transparent connecting layer (14) having: an electrical conductivity of at least 10e1 S/cm2 (measurement: four-point method, relative to temperature of 300K) and an optical transmittance of greater than 0.8 (for a wavelength range of 400 nm to 1500 nm) is formed at the first and second contact areas (3 4).
摘要翻译:本发明涉及一种接合第一接触表面的方法(3)的第一,至少基本上透明的基板(1)具有第二接触表面(4)的第二的,至少基本上透明的基板(2),其中,所述用于接合的接触表面的至少一个 使用氧化物,从其中至少主要透明粘接层(14),包括:至少10E1 S / cm 2的导电性(测量:四点基于的300K温度的方法),和光透射比大于0.8(为一个波长范围内的 400纳米至1500纳米)形成在第一和第二接触表面(3,4)上。
摘要:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bonden einer ersten Kontaktfläche (3) eines ersten Substrats (1) mit einer zweiten Kontaktfläche (4) eines zweiten Substrats (2) mit folgenden Schritten, insbesondere folgendem Ablauf: - Ausbildung eines Reservoirs (5) in einer Oberflächenschicht (6) an der ersten Kontaktfläche (3), - zumindest teilweises Auffüllen des Reservoirs (5) mit einem ersten Edukt oder einer ersten Gruppe von Edukten, - Kontaktieren der ersten Kontaktfläche (3) mit der zweiten Kontaktfläche (4) zur Ausbildung einer Pre-Bond-Verbindung, - Ausbildung eines permanenten Bonds zwischen der ersten und zweiten Kontaktfläche (3, 4), zumindest teilweise verstärkt durch Reaktion des ersten Edukts mit einem in einer Reaktionsschicht (7) des zweiten Substrats enthaltenen zweiten Edukt.
摘要:
Process for producing a structure by direct adhesive bonding of two elements comprising the production of the elements to be assembled and the assembly of said elements, in which the production of the elements to be assembled comprises the steps: - deposition on a substrate of a TiN layer by physical vapour deposition, - deposition of a copper layer on the TiN layer, and in which the assembly of said elements comprises the steps: - polishing the surfaces of the copper layers intended to come into contact so that they have a roughness of less than 1 nm RMS and hydrophilic properties, - bringing said surfaces into contact, - storing said structure at atmospheric pressure and at ambient temperature.
摘要:
The invention is related to a bonding wire, comprising a core (2) with a surface (15), wherein the core (2) comprises a core main component selected from the group consisting of copper and silver; and a coating layer (3) which is at least partially superimposed over the surface (15) of the core (2), wherein the coating layer (3) comprises a coating component selected from the group palladium, platinum, gold, rhodium, ruthenium, osmium and iridium, wherein the coating layer is applied on the surface of the core by means of depositing a film of a liquid onto a wire core precursor, wherein the liquid contains a coating component precursor, and wherein the deposited film is heated in order to decompose the coating component precursor into a metallic phase.