公开(公告)号：JP2007329491A

公开(公告)日：2007-12-20

申请号：JP2007189655

申请日：2007-07-20

申请人： Formfactor Inc ,  フォームファクター, インコーポレイテッド

发明人： KHANDROS IGOR Y ,  MATHIEU GAETAN L ,  ELDRIDGE BENJAMIN N ,  GRUBE GARY W

IPC分类号： G01R1/073 ,  H01L21/60 ,  B23K1/00 ,  B23K20/00 ,  B23K31/02 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/16 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/04 ,  G01R1/06 ,  G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/58 ,  H01L21/603 ,  H01L21/607 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L23/02 ,  H01L23/12 ,  H01L23/32 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L23/538 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01R9/00 ,  H01R12/71 ,  H01R13/05 ,  H01R13/24 ,  H01R29/00 ,  H01R33/74 ,  H01R33/76 ,  H01R107/00 ,  H05H1/18 ,  H05K1/14 ,  H05K1/18 ,  H05K3/20 ,  H05K3/24 ,  H05K3/30 ,  H05K3/32 ,  H05K3/34 ,  H05K3/36 ,  H05K3/40 ,  H05K7/10

CPC分类号： H05K7/1069 ,  B23K1/0016 ,  B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/07314 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/07357 ,  G01R1/07371 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/2889 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L21/67138 ,  H01L22/20 ,  H01L23/32 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/29 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/49 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13124 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13639 ,  H01L2224/13644 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13657 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/4554 ,  H01L2224/456 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48599 ,  H01L2224/48699 ,  H01L2224/48799 ,  H01L2224/49109 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01037 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0106 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01088 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/0133 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/15165 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15312 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H01R12/52 ,  H01R13/2407 ,  H01R13/2464 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/326 ,  H05K3/3421 ,  H05K3/368 ,  H05K3/4015 ,  H05K3/4092 ,  H05K2201/0397 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/1031 ,  H05K2201/10318 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2201/10719 ,  H05K2201/10734 ,  H05K2201/10757 ,  H05K2201/10878 ,  Y02P70/611 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01026 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/20754 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/2075

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a restorable contact structure suited for temporary connection with an electronic component such as a semiconductor die, subjected to aging and functional tests. SOLUTION: The contact structure having restorable and tractable properties for various electronic components is formed by bonding a free end of a wire 502 to a substrate 508, disposing the wire to form a wire stem having an elastic form, cutting the wire stem and providing a protective film by at least one layer of a certain material on the wire stem 530. In an illustrative embodiment: the free end of the wire stem is bonded to a contact region on the substrate; the wire stem is constructed to have an elastic form; the wire stem is cut by discharge to be free-standing; and applying, by deposition, the protective film to the free-standing wire stem. Various materials are disclosed as materials to be used for the wire stem (functioning as a foothold) and the protective film (functioning as an upper structure over the foothold). COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供适于与诸如半导体管芯的电子部件临时连接的可恢复的接触结构，进行老化和功能测试。 解决方案：通过将导线502的自由端接合到基板508上来形成具有用于各种电子部件的可恢复和易于处理的特性的接触结构，布置线以形成具有弹性形式的线杆，切割线杆 并且通过线杆530上的某种材料的至少一层提供保护膜。在说明性实施例中：线杆的自由端结合到衬底上的接触区域; 线杆构造成具有弹性形式; 线杆由排放口切割成独立的; 并通过沉积将保护膜施加到独立的线杆上。 公开了各种材料作为用于线杆（用作支脚）的材料和保护膜（用作支脚上的上部结构）。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2004336062A

公开(公告)日：2004-11-25

申请号：JP2004147222

申请日：2004-05-18

申请人： Formfactor Inc ,  フォームファクター,インコーポレイテッド

发明人： KHANDROS IGOR Y ,  ELDRIDGE BENJAMIN N ,  MATHIEU GAETAN L ,  DOSIRE THOMAS H ,  SMITH WILLIAM D

IPC分类号： B23K20/00 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R3/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L25/065 ,  H01L25/16 ,  H01R33/76 ,  H05K1/14 ,  H05K3/20 ,  H05K3/32 ,  H05K3/40

CPC分类号： B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D21/02 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/06744 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2886 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L22/20 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/0001 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/326 ,  H05K3/4015 ,  H01L2924/00

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a contact mechanism to a wafer in which a semiconductor is suitably aged at a stage of a wafer. SOLUTION: A plurality of free-standing mutual contact elements 710 such as contact bumps or free-standing spring contacts including both monolithic and composite interconnection elements are mounted to relatively small tile substrates 702 which are then mounted and connected to a relatively large electronic component substrate 706, thereby stationing a plurality of contact elements to an electronic component. In this manner, pressure connections can be made to an entire semiconductor wafer, at once, to provide for wafer-stage aging and the like. Further, solder balls, a z-axis conductive adhesive, or compliant connections are suitably employed for making electrical connections between the tile substrates 702 and the electronic component. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

公开(公告)号：JP3387930B2

公开(公告)日：2003-03-17

申请号：JP51632396

申请日：1995-11-15

申请人： フォームファクター,インコーポレイテッド

发明人： エルドリッジ，ベンジャミン，エヌ ,  グルーブ，ゲーリー，ダヴリュー ,  ハンドロス，イゴー，ワイ ,  マシュー，ゲータン，エル

IPC分类号： G01R1/06 ,  B23K1/00 ,  B23K20/00 ,  B32B15/08 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/04 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/288 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  H01L21/66 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L25/065 ,  H01L25/16 ,  H01R12/52 ,  H05K1/14 ,  H05K3/20 ,  H05K3/30 ,  H05K3/32 ,  H05K3/34 ,  H05K3/36 ,  H05K3/40 ,  H05K7/10

CPC分类号： H05K7/1069 ,  B23K1/0016 ,  B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/0483 ,  G01R31/2863 ,  H01L21/288 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L21/67138 ,  H01L22/20 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/49 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05082 ,  H01L2224/05644 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/1147 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/13124 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13582 ,  H01L2224/13639 ,  H01L2224/13644 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13657 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/4554 ,  H01L2224/45644 ,  H01L2224/4824 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/48644 ,  H01L2224/48699 ,  H01L2224/48844 ,  H01L2224/49109 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2224/85205 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01031 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01056 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01083 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H01R12/52 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/308 ,  H05K3/326 ,  H05K3/3421 ,  H05K3/3426 ,  H05K3/368 ,  H05K3/4015 ,  H05K3/4092 ,  H05K2201/0397 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/1031 ,  H05K2201/10318 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2201/10719 ,  H05K2201/10734 ,  H05K2201/10757 ,  H05K2201/10878 ,  H05K2201/10909 ,  H05K2201/10946 ,  Y02P70/611 ,  Y02P70/613 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2224/48744 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/2075 ,  H01L2924/20754

摘要： Resilient contact structures (430) are mounted directly to bond pads (410) on semiconductor dies (402a, 402b), prior to the dies (402a, 402b) being singulated (separated) from a semiconductor wafer. This enables the semiconductor dies (402a, 402b) to be exercised (e.g., tested and/or burned-in) by connecting to the semiconductor dies (702, 704) with a circuit board (710) or the like having a plurality of terminals (712) disposed on a surface thereof. Subsequently, the semiconductor dies (402a, 402b) may be singulated from the semiconductor wafer, whereupon the same resilient contact structures (430) can be used to effect interconnections between the semiconductor dies and other electronic components (such as wiring substrates, semiconductor packages, etc.). Using the all-metallic composite interconnection elements (430) of the present invention as the resilient contact structures, burn-in (792) can be performed at temperatures of at least 150 DEG C, and can be completed in less than 60 minutes.

公开(公告)号：JP6329059B2

公开(公告)日：2018-05-23

申请号：JP2014227329

申请日：2014-11-07

申请人： ルネサスエレクトロニクス株式会社

发明人： 秋葉 俊彦 ,  鴫原 宏美 ,  矢島 圭

IPC分类号： H01L23/12

CPC分类号： H01L21/4889 ,  H01L21/4846 ,  H01L21/4853 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5384 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2224/03 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/94 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：JP2011069829A

公开(公告)日：2011-04-07

申请号：JP2010235936

申请日：2010-10-20

申请人： Formfactor Inc ,  フォームファクター, インコーポレイテッド

发明人： KHANDROS IGOR Y ,  MATHIEU GAETAN L ,  ELDRIDGE BENJAMIN N ,  GRUBE GARY W

IPC分类号： G01R1/073 ,  B23K1/00 ,  B23K20/00 ,  B23K31/02 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/16 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/04 ,  G01R1/06 ,  G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/58 ,  H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  H01L21/607 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L23/02 ,  H01L23/12 ,  H01L23/32 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L23/538 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01R9/00 ,  H01R12/71 ,  H01R13/05 ,  H01R13/24 ,  H01R29/00 ,  H01R33/74 ,  H01R33/76 ,  H01R107/00 ,  H05H1/18 ,  H05K1/14 ,  H05K1/18 ,  H05K3/20 ,  H05K3/24 ,  H05K3/30 ,  H05K3/32 ,  H05K3/34 ,  H05K3/36 ,  H05K3/40 ,  H05K7/10

CPC分类号： H05K7/1069 ,  B23K1/0016 ,  B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/07314 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/07357 ,  G01R1/07371 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/2889 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L21/67138 ,  H01L22/20 ,  H01L23/32 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/29 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/49 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13124 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13639 ,  H01L2224/13644 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13657 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/4554 ,  H01L2224/456 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48599 ,  H01L2224/48699 ,  H01L2224/48799 ,  H01L2224/49109 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01037 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0106 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01088 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/0133 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/15165 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15312 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H01R12/52 ,  H01R13/2407 ,  H01R13/2464 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/326 ,  H05K3/3421 ,  H05K3/368 ,  H05K3/4015 ,  H05K3/4092 ,  H05K2201/0397 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/1031 ,  H05K2201/10318 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2201/10719 ,  H05K2201/10734 ,  H05K2201/10757 ,  H05K2201/10878 ,  Y02P70/611 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01026 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/20754 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/2075

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To enable orientation of a tip of a probe element without changing the position of a probe card. SOLUTION: A probe card assembly 500 includes: a probe card 502; a space converter having a contact structure (probe element) 524, which is a space converter 506; and an interposer 504 disposed between the space converter and the probe card. Mechanisms 532, 536, 538, 546 are disclosed, which are suitable for determining the degree of adjustment by "stacking" the space converter and the interposer, and by adjusting orientation of the space converter. A probe is allowed to abut on many die sites on a semiconductor wafer 508 easily by using the disclosed technique, and the probe element can be arrayed to optimize probe abutment on the whole wafer. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：为了使得探针元件的尖端的取向而不改变探针卡的位置。 解决方案：探针卡组件500包括：探针卡502; 具有接触结构（探针元件）524的空间转换器，其是空间转换器506; 以及设置在空间转换器和探针卡之间的插入件504。 公开了适用于通过“堆叠”空间转换器和插入器以及通过调整空间转换器的取向来确定调节程度的机构532,536,538,546。 通过使用所公开的技术，允许探针容易地邻接在半导体晶片508上的许多裸片位置，并且可以排列探针元件以优化整个晶片上的探针邻接。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008034861A

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：JP2007216518

申请日：2007-08-22

申请人： Formfactor Inc ,  フォームファクター, インコーポレイテッド

发明人： KHANDROS IGOR Y ,  MATHIEU GAETAN L ,  ELDRIDGE BENJAMIN N ,  GRUBE GARY W

IPC分类号： G01R1/073 ,  H01L21/66 ,  B23K1/00 ,  B23K20/00 ,  B23K31/02 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/16 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/04 ,  G01R1/06 ,  G01R1/067 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/58 ,  H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  H01L21/607 ,  H01L21/68 ,  H01L23/02 ,  H01L23/12 ,  H01L23/32 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L23/538 ,  H01L25/065 ,  H01L25/07 ,  H01L25/16 ,  H01L25/18 ,  H01R9/00 ,  H01R12/71 ,  H01R13/05 ,  H01R13/24 ,  H01R29/00 ,  H01R33/74 ,  H01R33/76 ,  H01R107/00 ,  H05H1/18 ,  H05K1/14 ,  H05K1/18 ,  H05K3/20 ,  H05K3/24 ,  H05K3/30 ,  H05K3/32 ,  H05K3/34 ,  H05K3/36 ,  H05K3/40 ,  H05K7/10

CPC分类号： H05K7/1069 ,  B23K1/0016 ,  B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/07314 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/07357 ,  G01R1/07371 ,  G01R1/07378 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/2889 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L21/67138 ,  H01L22/20 ,  H01L23/32 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/12 ,  H01L24/16 ,  H01L24/29 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/49 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05124 ,  H01L2224/05166 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/05647 ,  H01L2224/1134 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/13124 ,  H01L2224/13144 ,  H01L2224/13147 ,  H01L2224/13639 ,  H01L2224/13644 ,  H01L2224/13647 ,  H01L2224/13655 ,  H01L2224/13657 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/45014 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/45111 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2224/45139 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/45147 ,  H01L2224/4554 ,  H01L2224/456 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48463 ,  H01L2224/48599 ,  H01L2224/48699 ,  H01L2224/48799 ,  H01L2224/49109 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/78301 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01028 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/0103 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01037 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01044 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/0106 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01076 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01088 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/0133 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15153 ,  H01L2924/15165 ,  H01L2924/1517 ,  H01L2924/15312 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H01R12/52 ,  H01R13/2407 ,  H01R13/2464 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/326 ,  H05K3/3421 ,  H05K3/368 ,  H05K3/4015 ,  H05K3/4092 ,  H05K2201/0397 ,  H05K2201/068 ,  H05K2201/1031 ,  H05K2201/10318 ,  H05K2201/10378 ,  H05K2201/10719 ,  H05K2201/10734 ,  H05K2201/10757 ,  H05K2201/10878 ,  Y02P70/611 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01026 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/48 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/20754 ,  H01L2924/20755 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/20751 ,  H01L2924/20756 ,  H01L2924/20757 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2924/2075

摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method to enable the tip of a probe element to be oriented without changing the position of a probe card. SOLUTION: A probe card assembly 500 comprises a probe card 502 and a space converter 506. The space converter 506 is equipped with the probe element 524. An interposer 504 is interposed in between the space converter 506 and the probe card 502. The space converter 506 and the interposer 504 are stacked up. The orientation of the space converter 506 is adjusted by an actuator. Thus, the probe elements 524 can be arranged so as to optimize probing of the wafer 508 as a whole. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种使探针元件的尖端能够定向而不改变探针卡的位置的方法。 解决方案：探针卡组件500包括探针卡502和空间转换器506.空间转换器506配备有探针元件524.插入器504插入在空间转换器506和探针卡502之间。 空间转换器506和插入器504堆叠起来。 空间转换器506的方向由致动器调节。 因此，可以布置探针元件524以便优化整个晶片508的探测。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP3608795B2

公开(公告)日：2005-01-12

申请号：JP53668096

申请日：1996-05-24

申请人： フォームファクター,インコーポレイテッド

发明人： エルドリッジ，ベンジャミン，エヌ ,  スミス，ウィリアム，ディー ,  ドザイアー，トーマス，エイチ ,  ハンドロス，イゴー，ワイ ,  マシュー，ゲータン，エル

IPC分类号： B23K20/00 ,  C23C18/16 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D7/12 ,  C25D21/02 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R3/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/56 ,  H01L21/60 ,  H01L21/603 ,  H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L23/48 ,  H01L23/485 ,  H01L23/49 ,  H01L23/498 ,  H01L25/065 ,  H01L25/16 ,  H01R33/76 ,  H05K1/14 ,  H05K3/20 ,  H05K3/32 ,  H05K3/40

CPC分类号： B23K20/004 ,  B23K2201/40 ,  C25D5/08 ,  C25D5/22 ,  C25D21/02 ,  G01R1/06711 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/06744 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2884 ,  G01R31/2886 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/563 ,  H01L22/20 ,  H01L23/49811 ,  H01L24/11 ,  H01L24/13 ,  H01L24/72 ,  H01L24/81 ,  H01L25/0652 ,  H01L25/16 ,  H01L2224/13099 ,  H01L2224/131 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/81801 ,  H01L2224/85201 ,  H01L2225/0651 ,  H01L2225/06527 ,  H01L2225/06555 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/0001 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01012 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01022 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01042 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01057 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01075 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1532 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19043 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/3025 ,  H05K1/141 ,  H05K3/20 ,  H05K3/326 ,  H05K3/4015 ,  H01L2924/00

摘要： A plurality of contact elements, such as contact bumps or free-standing spring contacts (710) including both monolithic and composite interconnection elements, are mounted to relatively small tile substrates (702) which, in turn, are mounted and connected to a relatively large electronic component substrate (706), thereby populating the electronic component with a plurality of contact elements while avoiding the necessity of yielding the contact elements directly upon the electronic component. The relatively large electronic component is suitably a space transformer component of a probe card assembly. In this manner, pressure connections can be made to an entire semiconductor wafer, at once, to provide for wafer-level bum-in, and the like. Solder balls, z-axis conductive adhesive, or compliant connections are suitably employed for making electrical connections between the tile substrates and the electronic component. Multiple die sites on a semiconductor wafer are readily probed using the disclosed techniques, and the tiles can be arranged to optimize probing of an entire wafer. Composite interconnection elements having a relatively soft core overcoated by a relatively hard shell, as the resilient contact structures are described. Techniques for maintaining a prescribed x-y and z-axis alignment of the tiles to the relatively large substrate are disclosed.

公开(公告)号：JP2017513219A

公开(公告)日：2017-05-25

申请号：JP2016559319

申请日：2015-03-20

申请人： クアルコム,インコーポレイテッド

发明人： チェンジエ・ズオ ,  ジョンヘ・キム ,  デイク・ダニエル・キム ,  チャンハン・ホビー・ユン ,  マリオ・フランシスコ・ヴェレス

IPC分类号： H01F17/00 ,  H01F41/04 ,  H05K1/16

CPC分类号： H01L28/10 ,  H01F17/0013 ,  H01F27/2804 ,  H01F2017/002 ,  H01L21/486 ,  H01L21/4889 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49838 ,  H01L23/49866 ,  H01L24/17 ,  H01L2224/13014 ,  H01L2224/13016 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16265 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/19011 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/19102

摘要： ベースパッドは、支持表面上であるピッチだけ間隔を隔てている。任意選択でCuまたは他の金属ピラーである導電性部材は、ベースパッドから頂部パッドまで、上に向かって延在する。頂部パッドインターコネクタは、ベースパッド間にインダクタ電流経路を確立する構成で頂部パッドを接続する。

公开(公告)号：JP2016195221A

公开(公告)日：2016-11-17

申请号：JP2015075312

申请日：2015-04-01

申请人： 住友電工デバイス・イノベーション株式会社

发明人： 布川 満次

IPC分类号： H01L21/3205 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L22/14 ,  H01L21/4889 ,  H01L21/52 ,  H01L22/32 ,  H01L24/03 ,  H01L2224/0346 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/05558 ,  H01L2224/05572 ,  H01L2224/13111 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/94 ,  H01L24/13 ,  H01L24/16 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/13064

摘要： 【課題】プローブへのパッド片の付着を減らす試験用パッドを有する半導体装置を提供する。 【解決手段】半導体装置1は、基板2上に設けられた半導体素子42(トランジスタ)と、半導体素子42上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられ第1パッド部11a及び第2パッド部11bからなり、かつ、それらが接続されてなるパッド電極10と、を備える。パッド電極10は、半導体素子42に電気的に接続され、第2パッド部11bは、その表面に複数の溝を有する。溝は、表面にプローブが接触し移動する方向に連続して延在している。 【選択図】図1

摘要翻译： 要解决的问题：提供一种具有测试垫的半导体器件，该测试焊盘可以减少焊盘片与探头的粘附。解决方案：半导体器件1包括：设置在衬底2上的半导体元件42（晶体管） 设置在半导体元件42上的绝缘层; 以及设置在绝缘层上的焊盘电极10，其包括彼此连接的第一焊盘部分11a和第二焊盘部分11b。 焊盘电极10与半导体元件42电连接，第二焊盘部11b在其表面上具有多个槽。 凹槽与其表面上的探针接触，并沿探针的移动方向连续延伸。图​​1：图1

公开(公告)号：JP2016092305A

公开(公告)日：2016-05-23

申请号：JP2014227329

申请日：2014-11-07

申请人： ルネサスエレクトロニクス株式会社

发明人： 秋葉 俊彦 ,  鴫原 宏美 ,  矢島 圭

IPC分类号： H01L23/12

CPC分类号： H01L21/4889 ,  H01L21/4846 ,  H01L21/4853 ,  H01L23/3114 ,  H01L23/5384 ,  H01L23/5389 ,  H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L24/19 ,  H01L24/20 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/04042 ,  H01L2224/04105 ,  H01L2224/11 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/45144 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/73267 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/94 ,  H01L23/49816 ,  H01L23/525 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181

摘要： 【課題】半導体装置の信頼性を向上し、かつ、半導体装置の小型化を実現する。 【解決手段】電極パッドEPの上面が露出する開口部OP1が形成された第1絶縁部材IOLを有する半導体ウエハSWを準備する。続いて、半導体ウエハSWの主面上に第2絶縁部材OLを形成した後、電極パッドEPの上面が露出する開口部OP2を第2絶縁部材OLに形成した後、電極パッドEPにプローブ針を接触させて、半導体ウエハSWの主面に形成されたメモリ回路にデータを書き込む。続いて、電極パッドEPの上面を導電性のカバー膜CFで覆った後、再配置配線RWを形成する。ここで、Y方向において、電極パッドEPの直上に位置する再配置配線RWの幅L RW は、第1絶縁部材IOLに形成された開口部OP1の幅L OP1 と同じか、それよりも小さい。 【選択図】図10

摘要翻译： 要解决的问题：提高半导体器件的可靠性并实现半导体器件的小型化。解决方案：半导体器件制造方法包括以下步骤：制备具有第一绝缘构件IOL的半导体晶片SW，其中开口OP1 形成电极垫EP的顶面; 随后在半导体晶片SW的主表面上形成第二绝缘构件OL; 形成电极垫EP的顶面从第二绝缘构件OL露出的开口OP2; 随后将探针与电极垫EP接触以将数据写入形成在半导体晶片SW的主表面上的存储电路中; 随后用覆盖膜CF覆盖电极垫EP的顶面，随后形成重排布线RW。 在这种情况下，位于电极焊盘EP正上方的重排布线RW的宽度L与在Y方向上形成在第一绝缘构件IOL中的开口OP1的宽度L相同或更小。选择的图示：图10