バンプ電極検査方法およびバンプ電極検査システム
    74.
    发明申请
    バンプ電極検査方法およびバンプ電極検査システム 审中-公开
    BUMP电极检测方法和BUMP电极检测系统

    公开(公告)号:WO2012140925A1

    公开(公告)日:2012-10-18

    申请号:PCT/JP2012/050832

    申请日:2012-01-17

    Inventor: 中村 琢也

    Abstract:  バンプ電極(12)に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板(110)と検査対象物(10)とを押圧させた状態で検査対象物(10)の電気特性を測定する第1測定工程と、第1測定工程後、バンプ電極(12)に当接する金属製の突起からなる接触子を有する検査用回路基板(110)と検査対象物(10)とを押圧させた状態で検査対象物(10)の電気特性を再度測定する第2測定工程とを備える。第1測定工程において接触子に当接した領域であるバンプ電極(12)の第1当接領域と、第2測定工程において接触子に当接した領域であるバンプ電極(12)の第2当接領域とが、少なくとも一部において重複しないようにする。

    Abstract translation: 本发明包括以下步骤:第一测量步骤,用于在被检查对象(10)被压到具有接触的检查电路基板(110)的状态下测量被检查物体(10)的电特性 由与突起电极(12)接触的金属突起构成; 并且在第一测量步骤之后,在被检查对象(10)被按压在检查电路基板(110)的状态下,重新测量被检查物体(10)的电气特性的第二测量步骤, 具有由与突起电极(12)接触的金属突起构成的接触。 凸起电极(12)的与第一测量步骤中的接触部接触的区域和作为与第一测量步骤接触的区域的凸起电极(12)的第二接触区域的凸起电极(12)的第一接触区域 第二测量步骤中的接触被配置为使得两个区域至少部分不重叠。

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